技术论坛

  • 基于摩擦纳米发电机的波浪能采集系统的研究进展

    姚永杰;张鹏;王登旭;李玉霞;黄梁松;

    简单阐述了近年来摩擦纳米发电机(TENG)的工作原理、四种工作模式以及性能优化的方法,并对其四种工作模式的典型结构、优缺点、应用场合以及影响输出功率的主要因素进行了总结。重点介绍了固-液接触型、带有内部机械结构型、混合发电型以及其他类型的用于波浪能收集的TENG的几种结构设计,并对它们的性能以及优缺点进行了比较。介绍了两种通用的能量管理电路,总结了近年来TENG通过采集波浪能在金属防腐蚀、海水淡化与电解、船舶水位监测及海面溢油检测等海洋环境应用方面的研究进展。最后,对该领域当前存在的问题进行了分析,并展望了未来发展的方向。

    2022年02期 v.59;No.537 107-117+144页 [查看摘要][在线阅读][下载 1471K]
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器件与技术

  • n型单晶硅片的电阻率和扩散方阻对IBC太阳电池电性能的影响

    刘洪东;宋标;高艳飞;董忠吉;屈小勇;高嘉庆;张兴发;杨凯舜;

    叉指背接触式(IBC)太阳电池因正面没有金属栅线遮挡,具有较高的短路电流,且组件外观更加美观。但由于IBC太阳电池正负电极在背面交叉式分布,在制备过程中需要采用光刻掩模技术进行隔离,难以实现大规模生产。采用Quokka软件仿真模拟了电阻率和扩散方阻对n型IBC太阳电池效率的影响,并对不同电阻率和扩散方阻的电池片进行了实验验证,从n型单晶硅片电阻率的选择和扩散工艺优化方面为IBC太阳电池的规模化生产提供了理论基础。实验结果表明,电阻率为3~5Ω·cm、扩散方阻为70Ω/时,小批量生产的IBC太阳电池平均光电转换效率可达23.73%,开路电压为693 mV,短路电流密度为42.44 mA/cm~2,填充因子为80.69%。

    2022年02期 v.59;No.537 118-124页 [查看摘要][在线阅读][下载 1102K]
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材料与结构

  • 基于石墨毡生长的镍钴基化合物电极的双功能电催化性能

    庞宁;邢晓梅;童新;熊大元;徐少辉;王连卫;

    以先水热后硫化的方法制备出基于石墨毡基底的镍钴基化合物(NiCo_2O_4/GF和NiCo_2S_4/GF)电极,探究不同水热温度对电极的催化特性的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)、能量色散X射线光谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)对样品表面形貌、结构、晶向及元素分布进行分析。通过循环伏安(CV)曲线、线性扫描伏安(LSV)曲线、Tafel曲线和电化学阻抗谱(EIS)研究其双功能催化特性。研究发现,水热温度130℃下,NiCo_2O_4/GF电极在析氢反应(HER)中表现优异,在10 mA·cm~(-2)的电流密度下具有52.2 mV的低过电位和87.6 mV·dec~(-1)的Tafel斜率;另外,水热温度140℃下,NiCo_2S_4/GF电极在析氧反应(OER)中也展示出卓越的性能,在10 mA·cm~(-2)的电流密度下具有215 mV的较低过电位和85.2 mV·dec~(-1)的Tafel斜率。同时两种电极的稳定性都表现极佳,在5 000次的CV循环中总的电荷转移电阻基本不变。结果表明,镍钴基化合物表现出更好的双功能电催化特性。

    2022年02期 v.59;No.537 125-132页 [查看摘要][在线阅读][下载 1701K]
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  • (CoFe)Se2@NC超级电容器电极材料的制备及其电化学性能

    李宽;肖倩;卞梓垚;李凯楠;赵匡健;曹海静;朱燕艳;方泽波;

    金属-有机框架(MOF)衍生的过渡金属硒化物和多孔碳纳米复合材料具有巨大的储能优势,是应用于电化学储能的优良电极材料。采用共沉淀法制备CoFe类普鲁士蓝(CoFe-PBA)纳米立方,并通过静电组装在CoFe-PBA上包覆聚吡咯(PPy)得到CoFe-PBA@PPy;通过在400℃氮气中退火并硒化成功制备了氮掺杂的碳(NC)包覆(CoFe)Se_2的(CoFe)Se_2@NC纳米复合材料,并对其结构和形貌进行了表征。以(CoFe)Se_2@NC为电极制备了超级电容器,测试了其电化学性能,结果表明,在电流密度1 A/g时超级电容器的比电容达到1 047.9 F/g,在电流密度5 A/g下1 000次循环后具有良好的循环稳定性和96.55%的比电容保持率。由于其性能优越、无毒、成本低和易于制备,未来(CoFe)Se_2@NC纳米复合材料在超级电容器中具有非常大的应用潜力。

    2022年02期 v.59;No.537 133-139页 [查看摘要][在线阅读][下载 1174K]
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  • 利用PDMS纳米结构薄膜增强玻璃基板出光

    李晨冉;王书杰;涂于飞;

    以纳米压印技术为基础制备了具有纳米结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜。将纳米结构中间聚合物模板(IPS)薄膜覆盖在有PDMS溶液的玻璃基板上,真空加热后在玻璃基板上得到PDMS网格结构薄膜。这种方式得到的网格结构形状保持较好且厚度均匀无气泡,IPS薄膜不仅可以反复使用以减少Si母版的材料损耗,还可以缩短网格结构的制备时间。快速傅里叶变换(FFT)表明网格结构在可视角度下不存在角度依赖性。最后,利用时域有限差分(FDTD)对有无PDMS纳米结构的基板性能进行模拟,结合实验结果分析有无网格纳米结构对基板性能的影响,证明了网格结构适合作为介质散射层使用。

    2022年02期 v.59;No.537 140-144页 [查看摘要][在线阅读][下载 1064K]
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MEMS与传感器

  • 基于拱形结构的摩擦-压电复合式能量采集器

    石树正;熊枫;季喜军;

    随着纳米技术和加工工艺的发展,纳米发电机被提出用于将自然界中微弱低频振动机械能转化为电能,进而为小型传感系统长续航工作提供可能。基于摩擦纳米发电机和压电纳米发电机的电荷积累与转移规律,设计了拱形结构并构建了摩擦-压电复合式能量采集器,将两种力-电转换模式有效整合,并突破了以往能量采集器只能收集垂直方向机械能的限制。搭建了测试系统,研究了能量采集器的输出性能。摩擦单元经过整流后的输出开路电压和输出短路电流分别可达60 V和1.25μA,压电单元经过整流后的输出开路电压和输出短路电流分别为约10 V和约0.9μA。此外,制备的能量采集器不仅可为电容进行充电,还可点亮50只发光二极管(LED),在驱动小型电气设备领域展现出应用潜力。

    2022年02期 v.59;No.537 145-150+194页 [查看摘要][在线阅读][下载 1331K]
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  • 面向微集成的金刚石NV色心与微波天线的一体化

    袁华;马宗敏;郑斗斗;王雪敏;柴笑晗;

    针对金刚石氮空位(NV)色心量子传感器中微波天线体积大、无法与金刚石紧密接触造成天线与金刚石位置不固定、引起传感器灵敏度低的问题,设计了一种将微波天线集成到金刚石NV色心的一体化方法。采用导电性更强的金薄膜作为天线材料,通过高频结构模拟器(HFSS)仿真软件确定天线尺寸。利用微纳加工工艺和磁控溅射技术在金刚石NV色心表面制作了微波天线,实现了金刚石一体化微波天线。对金刚石一体化微波天线的仿真与实验数据进行对比分析。与传统微波天线相比,设计的天线体积缩小约50%,激发荧光效率和磁场灵敏度分别提升了约20倍和约10 nT/Hz~(1/2)。该方法结合3D打印技术可有望大幅缩小金刚石NV色心量子传感器的体积,对量子器件的微集成化发展具有重要意义。

    2022年02期 v.59;No.537 151-155+168页 [查看摘要][在线阅读][下载 1144K]
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  • Si MEMS陀螺仪的正交耦合补偿技术

    任臣;王宁;杨拥军;王晓;

    为了减小正交耦合误差对硅微电子机械系统(MEMS)陀螺仪性能的影响,提高陀螺仪零偏精度,对MEMS陀螺仪正交耦合补偿技术进行研究。建立MEMS陀螺仪动力学模型,分析正交耦合产生的原因,介绍了各类正交耦合补偿机理。设计了一款可实现静电刚度补偿的MEMS陀螺仪,并利用绝缘体上硅(SOI)工艺进行制备。利用现场可编程门阵列(FPGA)实现陀螺仪静电刚度正交耦合闭环补偿,并对陀螺仪进行了测试。测试结果表明,MEMS陀螺仪经过静电刚度正交耦合补偿后,角度随机游走由■变为■,零偏不稳定性由4.58°/h提升为0.27°/h,零偏稳定性由71.86°/h提升至1.29°/h(10 s平均处理),全温范围内零偏变化量由0.648°/s降低为0.01°/s。实验结果显示,经过正交耦合静电刚度闭环补偿,陀螺仪零偏性能明显提升。

    2022年02期 v.59;No.537 156-161页 [查看摘要][在线阅读][下载 1362K]
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加工、测量与设备

  • CaMoO4/GO复合材料的制备及其超级电容器性能

    陈刚;陈广州;潘莉;陈东生;

    采用水热法成功合成了CaMoO_4/氧化石墨烯(GO)纳米复合材料。通过材料的表面形貌、晶体结构和电化学性能研究合成的纳米复合材料。结果表明,CaMoO_4/GO电极在电流密度0.5 A/g时比电容高达571.82 F/g,并且在1 A/g的电流密度下,经过1 000次循环后的比电容保持率仍为84%。为了测试电极材料的实际应用效果,全固态超级电容器(ASC)分别使用CaMoO_4/GO和活性炭(AC)作为正极和负极进行组装。组装的ASC在功率密度1 710.3 W/kg下显示出25.18 W·h·kg~(-1)的能量密度,并且能通过串联4个ASC为红色发光二极管供电。上述结果表明CaMoO_4/GO电极材料在高性能储能设备的应用中具有非常大的潜力。

    2022年02期 v.59;No.537 162-168页 [查看摘要][在线阅读][下载 1587K]
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  • 原子层沉积超薄氮化铝薄膜的椭圆偏振光谱法表征

    瞿敏妮;乌李瑛;董学谦;沈贇靓;田苗;王英;程秀兰;

    采用原子层沉积(ALD)工艺在硅衬底上生长了35 nm以下不同厚度的超薄氮化铝(AlN)晶态薄膜。利用椭圆偏振光谱法在波长275~900 nm内测量并拟合薄膜的厚度及折射率和消光系数等光学参数。利用原子力显微镜(AFM)表征AlN晶粒尺寸随生长循环次数的变化,计算得到薄膜表面粗糙度并用于辅助椭偏模型拟合。针对ALD工艺特点建立合适的椭偏模型,可获得AlN超薄膜的生长速率为0.053 5 nm/cycle, AlN超薄膜的折射率随着生长循环次数的增加而增大,并逐渐趋于稳定,薄膜厚度为6.88 nm时,其折射率为1.653 5,薄膜厚度为33.01 nm时,其折射率为1.873 1。该模型为超薄介质薄膜提供了稳定、可靠的椭圆偏振光谱法表征。

    2022年02期 v.59;No.537 169-174页 [查看摘要][在线阅读][下载 1395K]
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  • 微悬臂梁传感系统在CNT微热量检测中的应用

    滕艳华;王启明;周宁鸿;冯贺;刘松;薛长国;

    针对碳纳米管(CNT)微热量检测不易的问题,采用了一种基于微悬臂梁传感器的CNT微热量检测系统进行检测。通过光杠杆检测法测量微悬臂梁弯曲量,从而实现微悬臂梁对CNT的微热量检测,研究了CNT光热转换散发热量对微悬臂梁挠度的影响。用最小二乘法拟合出CNT薄膜温度变化与相应微悬臂梁偏移量关系。结果显示,温度变化与微悬臂梁偏移量呈线性关系,与理论分析符合,且面积约0.07 mm~2的样品薄膜拟合曲线的线性相关系数为0.993 2。通过对温度检测的重复性实验,验证了系统具有较高的稳定性;将温度测量值与实验系统的拟合值进行对比,结果基本一致,验证了系统的可靠性。

    2022年02期 v.59;No.537 175-179页 [查看摘要][在线阅读][下载 980K]
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  • PLD法制备ITO导电薄膜及其性能

    姚雪;谭秋林;

    为了研制可用于高温环境下进行应变测量的应变层,采用脉冲激光沉积(PLD)法在陶瓷基底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜。研究了PLD法中不同基底温度对ITO薄膜显微结构、电学性能以及阻温特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)测试了薄膜的晶体结构,通过四点探针测量法测得薄膜的薄层电阻,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜进行表面形貌分析。结果发现制备的ITO薄膜呈现出体心立方(BCC)结构,且沿(222)晶面优先生长,薄膜的晶粒尺寸随着基底温度的升高而增加,ITO薄膜的电学性能受基底温度的影响显著,电阻率随着衬底温度的升高而降低。最后,搭建测试平台在25~1 050℃内测试了不同基底温度下制备的ITO薄膜的电阻温度系数(TCR)。结果表明,ITO薄膜的电阻温度系数随基底温度的升高而降低,在基底温度为600℃下制备的ITO薄膜具有最小的TCR值,为-259.575×10~(-6)℃~(-1)。

    2022年02期 v.59;No.537 180-186页 [查看摘要][在线阅读][下载 1141K]
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  • 交流电场作用下电场流动聚焦装置内微液滴的生成实验

    王燕令;任敏;张常青;刘鹤;陈华;吴学红;

    采用非接触式电极放入方式,避免了电化学效应的产生,通过改变外加交流电场强度和电场频率,研究了液滴交流电场流动聚集断裂过程的流型转变、液滴当量直径和生成频率。结果表明,流量不变时,仅通过改变外加电场,依次可观测到液滴从弹状流、滴状流到喷射流的流型转变。当毛细数<0.1时,生成的液滴当量直径随毛细数增加呈指数减小,且低频电场下的液滴当量直径比高频下的更为均匀。液滴的生成频率随着电场强度和电场频率的增加而逐渐增大,较高的电场强度和电场频率均会导致液滴断裂时间提前,相应生成的液滴当量直径较无外加电场时的减小约60%,生成频率提高1.5倍。

    2022年02期 v.59;No.537 187-194页 [查看摘要][在线阅读][下载 1703K]
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  • 中国电子科技集团公司第十三研究所光电产品推介

    <正>中国电子科技集团公司第十三研究所从事半导体光电材料、光电芯片及器件研制与生产30余年。专业部具有单晶衬底、材料外延、芯片、封装、应用全产业链技术及产品研发与生产能力,拥有3英寸和4英寸均兼容的专用光电芯片工艺线、大功率半导体激光器封装工艺线和先进完善的检验检测设备,能满足多种光电芯片及器件的科研生产。现有产品包含功率激光器芯片、光通信激光器芯片、光通信探测器芯片、半导体脉冲激光器、半导体阵列激光器和光纤耦合激光器共60多种产品,广泛应用于激光泵浦、激光雷达、光通信、红外照明和激光加工等领域。

    2022年02期 v.59;No.537 161页 [查看摘要][在线阅读][下载 493K]
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