- 谭刚;
化学机械抛光(CMP)技术是半导体工艺中不可缺少的重要工艺。针对硅晶圆CMP平坦性问题,系统地考察了压力、转速、抛光垫、浆料、温度等因素对硅晶圆平坦化速率的影响,从中找到它们之间的优化参数,减少CMP工艺中的表面划伤、抛光雾、金属离子沾污,清除残余颗粒,保证硅晶圆的平坦化质量。
2007年Z1期 No.362,No.363 1-2+6页 [查看摘要][在线阅读][下载 136K] [下载次数：574 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：16 ] |[阅读次数：0 ] - 徐英;杨会峰;吴经纬;李刚;王化祥;
利用RNGk-ε模型对100mm口径锥体差压式流量传感器进行了CFD数值模拟实验,其等效直径比β值分别为0.50,0.65,0.85,前锥角分别为40°,45°,50°,后锥角分别为120°,130°,140°,共27种锥体组合。实验结果表明:β值越大,流出系数越小,且流出系数更易受雷诺数的影响;β值相同时,前锥角对流出系数具有较大影响,且较大的前锥角可减弱雷诺数对流出系数的影响;后锥角对流出系数的线性度具有一定程度的影响。
2007年Z1期 No.362,No.363 3-6页 [查看摘要][在线阅读][下载 300K] [下载次数：148 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 陈亮;亢勇;朱龙源;赵德刚;李向阳;龚海梅;
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀在AlGaN基紫外探测器台面制作中起着重要作用。在对比了ICP与RIE,ECR等干法刻蚀技术优缺点的基础上,采用Ni作为掩膜,Cl2/Ar/BCl3作为刻蚀气体,对金属有机化学气相淀积生长的n-Al0.45Ga0.55N进行了ICP刻蚀研究。刻蚀速率随着ICP直流偏压的增加而增加,刻蚀速率随着ICP功率的增加先增加较快后增加缓慢。最后结合刻蚀表面的扫描电镜(SEM)分析和俄歇电子能谱(AES)深度分析对刻蚀结果进行了讨论。分析表明,在满足刻蚀表面形貌的同时,较低的直流偏压下刻蚀速率较慢,但损伤较小,这对于制备高性能的紫外探测器是有利的。
2007年Z1期 No.362,No.363 7-9页 [查看摘要][在线阅读][下载 229K] [下载次数：279 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：1 ] - 王义;朴林华;
根据计算敏感元件内的流场分布解释微型气流陀螺的敏感机理。利用ANSYS-FLOTRANCFD软件,根据陀螺实际尺寸进行建模求解,计算出在不同输入角速度时二维腔体中气体的流场及分布。计算结果表明,陀螺静止时两热电阻丝处气流速度相等,电流相等,输出电压为零;有角速度输入时,电阻丝气流速度不同,输出一个与角速度成比例的电压。
2007年Z1期 No.362,No.363 10-11+16页 [查看摘要][在线阅读][下载 238K] [下载次数：44 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 郝连旺;宋涛;
呼吸信号的检测具有很高的临床使用价值,其中采用传感器进行检测已成为较成熟的手段,但由于传感器使用范围的局限性,在某些场合需要采用非接触式检测。主要对现有的呼吸信号的检测方法和应用情况进行了讨论,重点对呼吸信号的测量原理进行了详细的分析,并对呼吸信号检测仪器的研制进行了简单地探讨。
2007年Z1期 No.362,No.363 12-16页 [查看摘要][在线阅读][下载 252K] [下载次数：1374 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：66 ] |[阅读次数：1 ] - 任杰;樊尚春;郭占社;
谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力。由于硅基微杠杆机构的各部分均为刚性连接,且杠杆的输入、输出端有约束存在,制约了杠杆的自由转动,使惯性力不能高效放大。为此,设计了基于柔性支点的杠杆机构,建立了微杠杆机构的物理和数学模型,推导出杠杆机构各部分刚度的匹配原则。利用ISIGHT软件,采用遗传算法对结构参数进行了优化。
2007年Z1期 No.362,No.363 17-19页 [查看摘要][在线阅读][下载 124K] [下载次数：318 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：9 ] |[阅读次数：0 ] - 邢维巍;樊尚春;
为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题,并改善其可靠性和动态响应,提出在传感器原有结构上增加辅助传感器,构成组合敏感原理。利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值,可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制;可及时判断闭环系统失效;可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能。辅助传感器的制造工艺与主传感器兼容,附加成本低。
2007年Z1期 No.362,No.363 20-21+24页 [查看摘要][在线阅读][下载 150K] [下载次数：414 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 张文涛;戴静云;孙宝臣;
研究了光纤光栅(FBG)应变传感器的封装与安装工艺对温度交叉敏感特性的影响。基于弹性力学理论对表面粘贴式和表面螺栓安装式两种典型的FBG应变传感器封装形式的交叉敏感机理进行了理论分析,并对国内几家主要的FBG传感器生产商的产品进行了测试。测试结果表明,表面粘贴式FBG应变传感器的温度交叉敏感性要大于表面安装式FBG应变传感器,与理论分析的结果相符。
2007年Z1期 No.362,No.363 22-24页 [查看摘要][在线阅读][下载 161K] [下载次数：220 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：0 ] - 杨集;陈贤祥;夏善红;
卫星在太空运行过程中,在周围等离子体和光电效应等综合作用下,会带上与周围等离子体环境不同的悬浮电位,这个电位会影响星上测量载荷的测量精度和测量范围。利用航天器与等离子体相互作用系统软件SPIS,采用粒子分室法模拟了低轨道(710km)卫星的充电特性。结果表明,由于等离子体温度低、浓度高,卫星的充电电位较低(-0.719V);而周围的等离子体环境受卫星尾迹效应的影响显著。
2007年Z1期 No.362,No.363 25-27页 [查看摘要][在线阅读][下载 259K] [下载次数：245 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：13 ] |[阅读次数：0 ] - 崔媛媛;田文杰;鄂然;
设计了一种新型的单基三电极石英晶体谐振器,并在大气环境条件下测试分析了这种谐振器的频率-温度特性,验证了其频率-温度特性与已有的单基单电极谐振器的频率-温度特性基本一致,曲线为三次曲线。在相同激励及环境条件下,在同一基片上设置多对电极时,各对电极构成的谐振器的频率-温度特性基本相同。根据这种相似特点,将同一基片上不同电极对应的谐振器的振动频率进行差频补偿,可有效地抑制温度对谐振器振动频率的影响。这种谐振器所采用的差频补偿方法可为石英谐振器相关特性的进一步开发利用提供依据。研究了这种结构的石英晶体谐振器的晶片表面处理(是否抛光)及边沿形状(是否倒边)对其频率-温度特性的影响。实验结果表明,对单基多电极石英晶体谐振器的晶片表面进行抛光并对边沿进行倒边处理后,谐振器的稳定性得到了有效的改善,性能得到了优化。
2007年Z1期 No.362,No.363 28-30页 [查看摘要][在线阅读][下载 241K] [下载次数：133 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 陈佳;蔡萍;周志锋;
提出一种通过自适应补偿提高长秤台汽车动态称重系统精度的方法。根据汽车动态称重两自由度模型,利用零、极点对消原理,设计校正滤波器,改善信号响应特性,使信号快速达到平稳状态。实验结果表明,本方法能有效地缩短信号衰减时间,改善称重精度,并具有很好的自适应性。
2007年Z1期 No.362,No.363 31-33页 [查看摘要][在线阅读][下载 176K] [下载次数：167 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：10 ] |[阅读次数：0 ] - 刘旭;高建忠;赵玉龙;蒋庄德;
针对MEMS复杂器件优化困难的问题,提出了一种柔性机构尺寸与形状优化的新方法。该方法采用遗传算法(GA)与有限元方法(FE)联合的优化策略,用MATLAB软件作为"调度员",将ANSYS与MATLAB自带的遗传算法工具箱进行有机集成,共同完成柔性机构的优化功能。最后以一种柔性微杠杆机构为例,实现了提出的优化方法,给出了优化的结果。
2007年Z1期 No.362,No.363 34-36页 [查看摘要][在线阅读][下载 317K] [下载次数：244 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ] - 阮勇;叶双莉;张大成;任天令;刘理天;
提出了提高硅深反应离子刻蚀的新方法。该方法在硅的侧壁PECVD淀积SiO2,硅的底部采用热氧化的方法形成SiO2。由于在刻蚀中硅与SiO2的刻蚀选择比为120∶1~125∶1,因此SiO2层可以抑制在硅-玻璃结构的刻蚀中出现的lag和footing效应,扫描电镜结果也证明,采用改进工艺后的硅结构在经过长时间的过刻蚀后仍然保持了完整性。硅陀螺测试结果也证明了改进工艺的正确性。
2007年Z1期 No.362,No.363 37-39页 [查看摘要][在线阅读][下载 373K] [下载次数：367 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：0 ] - 杨轶;任天令;蔡坚;王水第;刘理天;
分别采用TO-CAN和SMT形式对微声学器件进行了封装,并对封装后的器件进行了耦合腔测试和指向性测试。测试结果表明,通过减小前入声孔直径大小,能够抑制微音频器件的高频响应;另外通过采用不同的封装结构参数,能够实现∞形和心脏形指向性的微超声器件。
2007年Z1期 No.362,No.363 40-42页 [查看摘要][在线阅读][下载 302K] [下载次数：114 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 卞雷祥;文玉梅;李平;程磊;刘盼刚;
将超磁致伸缩材料(GMM)、压电材料(PZT-5H)复合于弹性基板上,利用共振原理构造了一种新型的磁电换能器。当激励磁场的频率等于或者接近于弹性基板的固有频率时,GMM将驱动弹性基板振动并发生共振,粘结于基板上的压电材料的输出电压将达到极大。实验研究表明,该器件的磁电耦合电压曲线呈现多个峰值,在800Oe偏置磁场和1Oe交变磁场激励下,谐振点处的磁电耦合电压系数达到1.552V/Oe。
2007年Z1期 No.362,No.363 43-44+55页 [查看摘要][在线阅读][下载 121K] [下载次数：267 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：11 ] |[阅读次数：0 ] - 甄志成;胡明;杨海波;吕宇强;
根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体热导的方法及这些方法在双层及单层结构中应用的可行性。
2007年Z1期 No.362,No.363 45-47页 [查看摘要][在线阅读][下载 152K] [下载次数：222 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 孙凤玲;于海超;王金文;方建雷;杨永刚;
微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一"弱点",介绍一种基于压力芯片的惠斯顿电桥建立外接电阻补偿网络的数学模型,利用MatLab优化工具箱提供的优化方法构建算法,对补偿电阻求解,实现对温度漂移的补偿。该方法更有助于基于硅压阻式压力芯片的OEM型产品的大规模量产。
2007年Z1期 No.362,No.363 48-50页 [查看摘要][在线阅读][下载 101K] [下载次数：891 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：36 ] |[阅读次数：0 ] - 孙旭;李哲英;钮文良;
以经典的频率特性模型为基础,针对两级运算放大器结构进行分析,提出一种改进的运算放大器小信号宏模型建立方法。给出一种模型可信度评估机制,并采用BSIM3V3MOSFET模型,对改进的运放小信号建模方法进行仿真验证。与经典建模方法对比结果表明,此方法模型符合度达到99.8%,易于软件集成,可有效缩短仿真时间。
2007年Z1期 No.362,No.363 51-55页 [查看摘要][在线阅读][下载 313K] [下载次数：229 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 于尚民;冯仁剑;万江文;
采用状态空间分析法,研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在Simulink仿真平台上完成了控制方案的计算机仿真实验。结果表明,状态反馈控制方案能较好地提高系统的操作精度并改善瞬时特性。
2007年Z1期 No.362,No.363 56-59页 [查看摘要][在线阅读][下载 194K] [下载次数：161 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：0 ]
- 张红丹;邹小平;程进;任鹏飞;李飞;王茂发;朱光;
采用乙醇催化燃烧法,以钴盐作为催化剂先体、薄铜片作为基底制备碳纳米管。分别以氯化钴、硝酸钴和硫酸钴作为催化剂先体,研究了不同催化剂先体对碳纳米管生长的影响;利用扫描电镜,透射电镜对碳纳米材料的形貌和结构进行了表征,研究了不同钴盐的催化剂先体对碳纳米管形态与结构的影响,讨论了碳纳米管的生长机制。实验发现,其他制备条件相同,当催化剂先体为氯化钴时,碳纳米管与大量絮状杂质缠绕在一起;当催化剂先体为硝酸钴时,碳纳米管容易形成弯曲、不规则的波浪形结构;而当催化剂先体为硫酸钴时,实验所得的碳纳米材料几乎全为取向规则、直径均一的碳纳米纤维,只观察到少量碳纳米管。
2007年Z1期 No.362,No.363 60-62页 [查看摘要][在线阅读][下载 306K] [下载次数：968 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 张红丹;邹小平;程进;任鹏飞;李飞;王茂发;朱光;
以不同浓度的FeCl3溶液作为催化剂先体,利用乙醇催化燃烧法,在铜片上生长出了碳纳米管和碳纳米纤维。讨论了不同浓度的FeCl3催化剂先体对生长碳纳米材料产物和形貌的影响。利用扫描电镜,透射电镜和喇曼光谱对样品的形貌和结构进行了表征。实验结果表明,随着催化剂先体浓度增大,碳纳米材料产量增大,直径呈现增大趋势,其直径范围也逐渐变大。当催化剂先体浓度为0.01mol/L时,可以制备出直径较小的碳纳米管;当催化剂先体浓度为0.1mol/L时,可以制备出直径分布均匀的碳纳米管与碳纳米纤维的混合物;当催化剂先体浓度为1mol/L时,可以制备出直径分布不均匀的碳纳米纤维。
2007年Z1期 No.362,No.363 63-65页 [查看摘要][在线阅读][下载 273K] [下载次数：121 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ] - 郑丽;金建东;卢崇考;
以物理化学中的吸附理论为出发点,探讨高分子材料的感湿机理,研究了高分子湿敏材料的微观结构与灵敏度、湿滞、温度系数、长期稳定性等性能指标的内在联系,结合理论分析和实践提出了电容式高分子湿敏材料的功能设计方法,选取聚酰亚胺和制作的敏感元件对该理论进行验证,实验结果表明该方法有很强的可操作性。
2007年Z1期 No.362,No.363 66-67+71页 [查看摘要][在线阅读][下载 132K] [下载次数：367 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 杨海波;胡明;吕宇强;甄志成;张绪瑞;张伟;
以多孔硅作为绝热层材料,采用超高真空对靶磁控溅射镀膜法,在多孔硅样品表面和硅基底表面沉积氧化钒薄膜。实验采用电化学腐蚀法制备多孔硅,利用场致发射扫描电子显微镜观测了孔隙率为50%,60%,70%三个多孔硅样品的微观形貌。利用显微喇曼光谱法测量其热导率,分别为8.16,7.28和0.624W/mK;利用纳米压入仪测量氧化钒薄膜的显微硬度和杨氏模量,测得沉积在孔隙率为50%,60%,70%的多孔硅基底上氧化钒薄膜的显微硬度分别为1.917,0.928和0.13GPa,杨氏模量分别为31.087,16.921和2.285GPa,而沉积在单晶硅基底的氧化钒薄膜的显微硬度和杨氏模量分别为10.919GPa和193.792GPa,并分析了微观结构差异对多孔硅绝热性能和机械性能的影响,为非制冷红外探测器的工艺制作过程提供一定的热学力学参数。
2007年Z1期 No.362,No.363 68-71页 [查看摘要][在线阅读][下载 226K] [下载次数：166 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ] - 张跃宗;冯士维;张弓长;王承栋;
主要对n-GaN/Ti/Al/Ni/Au欧姆接触在高温下(500℃)的特性进行了研究,发现在所测温度范围内,接触电阻率随测量温度的升高呈现出增加的趋势,接触开始退化。同时分析研究了在不同高温、不同时间范围内(24h)欧姆接触高温存储前后的变化,分析发现对于温度不高于500℃、在24h内存储温度升高,接触电阻率增加。当样品被施加500℃,24h的热应力后,其接触电阻率表现出不可恢复性增加。通过X射线衍射能谱分析了高温前后欧姆接触内部结构的变化机理,经过500℃的高温后,Ti层原子穿过Al层与Ni层原子发生固相反应。
2007年Z1期 No.362,No.363 72-75页 [查看摘要][在线阅读][下载 257K] [下载次数：316 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 赵青;杨阳;孙永欣;王绍钢;刘力;常爱民;
微波水热合成法是新型的纳米粉体材料制备方法,它与常规水热法相比,反应时间更短、反应温度更低,并且微波的非热效应影响产物晶型的形成。立方相氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷材料是制作氧传感器、固体氧化物燃料电池及高温湿度传感器等多种功能元器件的核心原材料。采用可程序化控制的MARS-5微波消解仪实现了微波水热合成,反应温度100~120℃,反应时间1~5h,在强碱环境下制备氧化钇稳定氧化锆纳米粉体,而常规水热法制备氧化锆的温度一般为190~250℃。采用X射线衍射、热分析等方法,研究了温度、时间、pH和Y2O3含量对产物粒度和晶型的影响,使用了Rietveld方法进行定量分析、粒度计算。结果显示,与常规水热法相比,微波水热法不仅缩短了反应时间,并且影响产物的结构组成。分析表明,微波加速反应的机理可以用晶粒旋转驱动的晶粒聚合解释,而微波的介电加热效应,微波离子传导损耗等是加速化学反应的主要原因。
2007年Z1期 No.362,No.363 76-79+85页 [查看摘要][在线阅读][下载 271K] [下载次数：1021 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：16 ] |[阅读次数：1 ] - 黄丽娜;曲炳郡;刘理天;
采用脉冲激光沉积技术在SrTiO3(001)单晶衬底上制备出钙钛矿结构La0.67Sr0.33MnO3薄膜,利用X射线衍射仪与原子力显微镜表征其晶体结构与微观形貌,并对Ag/La0.67Sr0.33MnO3/SrTiO3结构的室温电脉冲诱发可逆变阻效应进行了分析讨论。该效应表现出良好的非挥发多值存储特性,有望应用于新型存储器、传感器、可变电阻等电子元器件的研制。
2007年Z1期 No.362,No.363 80-82页 [查看摘要][在线阅读][下载 281K] [下载次数：166 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 李飞;邹小平;程进;张红丹;任鹏飞;朱光;王茂发;
介绍了一种既简单又经济的用于制备Y形结构碳纳米纤维的催化燃烧方法。采用乙醇作为碳源,金属盐溶液作为催化剂先体;同时,基底材料采用铜薄片;实验装置采用酒精灯。实验在常温常压下就可以进行,且不需要引入其他辅助生长Y形结的气体。实验结果表明,该方法具有一定的实用性,可实现大量制备;透射电镜分析结果表明,产物中所含Y形结结构丰富,如螺旋结构、非螺旋结构以及螺旋与非螺旋混合的结构。
2007年Z1期 No.362,No.363 83-85页 [查看摘要][在线阅读][下载 165K] [下载次数：105 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 王绍刚;常爱民;张慧敏;赵青;
采用Pechini法,成功制备了Mn0.43Ni0.9CuFe0.67O4纳米粉体。聚合前驱体在400~700℃下煅烧,采用热重-差热分析(TG-DTA)、红外光谱(IR)、X射线衍射(XRD)、粒度分布和扫描电镜(SEM)对产物进行了表征。煅烧后,在900~1200℃烧结,测试了烧结陶瓷的电学性能参数:电阻率ρ和材料常数B。结果表明,粉体的分解温度为300℃,由无定形相开始结晶;晶体结构不同于传统NTC材料的单一尖晶体结构,而是尖晶石相和单斜CuO相组成的固溶体;单斜CuO相对陶瓷的电学性能有较大影响。烧结性质表明,最佳烧结温度为1100℃,致密度为96%,2ρ5℃为600Ω.cm,材料常数B25℃/50℃为2000。
2007年Z1期 No.362,No.363 86-90页 [查看摘要][在线阅读][下载 443K] [下载次数：320 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 杨阳;妥万禄;常爱民;赵青;张慧敏;
着重研究了工作温度范围为20~77K的低温热敏电阻器的生产工艺参数。利用先进的半导体陶瓷工艺,合成了新的低温NTC热敏陶瓷材料SrCoO3-δ,并用不同量的Ni取代Co对其掺杂改性,得到了不同阻值、不同B值的陶瓷材料,同时研究了烧结温度和恒温时间对Co-Ni-Sr-O系NTC热敏材料参数的影响。在材料粉体合成中,采用固相烧结、共沉淀法、溶胶凝胶法、Pechini法等不同方法制备,讨论了不同方法的基本原理与特点,并对一些具体制备方法进行了比较。
2007年Z1期 No.362,No.363 91-94+107页 [查看摘要][在线阅读][下载 426K] [下载次数：398 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ] - 张惠敏;常爱民;赵青;
研究了CoMnNiO系负温度系数热敏电阻陶瓷材料的烧结特性和电性能,探讨了不同烧结方法对CoMnNiO系NTC热敏陶瓷烧结特性及电性能的影响。试验结果表明,微波烧结的样品成瓷均匀、致密,且晶粒较小。对其电性能进行研究发现:同样温度下微波烧结制备的热敏元件B值、阻值一致性较常规烧结方法有较大提高。由此可见,微波烧结技术在制备热敏电阻陶瓷材料方面具有潜在的优势。
2007年Z1期 No.362,No.363 95-97页 [查看摘要][在线阅读][下载 298K] [下载次数：578 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：8 ] |[阅读次数：0 ] - 张阳;何秀丽;高晓光;李建平;
采用聚乙烯醇(PVA,Mw=80000g/mol)和五水合四氯化锡(SnCl4.5H2O)作为静电纺丝前驱液,着重研究了纺丝电压、前驱液中PVA浓度及煅烧温度等因素对纺丝过程及纤维特性的影响,并用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)等分析手段对纤维的微观结构、表面形貌和结晶状态进行了表征。结果表明,当纺丝电压为4kV、纺丝液中PVA质量分数为7%、退火温度为700℃时,可以得到平均直径为300nm的连续SnO2纳米纤维。该纤维对乙醇的响应恢复时间小于15s,检测极限低于10×10-9。
2007年Z1期 No.362,No.363 98-101页 [查看摘要][在线阅读][下载 502K] [下载次数：349 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：8 ] |[阅读次数：0 ] - 胡明;冯有才;尹英哲;陈鹏;
采用直流反应磁控溅射法,在未抛光的Al2O3基片上制备WO3薄膜,在干燥空气中经过热处理;利用SEM观察薄膜表面形貌;通过XRD测量,对薄膜的晶体结构进行分析;薄膜氢敏特性测试采用静态配气法。经过400℃热处理,当工作温度在270℃时,对体积分数为3×10-4%H2的灵敏度达到了77,稳定性较高、选择性好、响应时间在15s以内。WO3薄膜是一种较理想的氢敏材料,在氢敏传感器的设计中必定会得到足够的重视和广泛应用。
2007年Z1期 No.362,No.363 102-104页 [查看摘要][在线阅读][下载 235K] [下载次数：177 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：0 ] - 王竹仪;陈骋;冯彩慧;吴凤清;
以La(NO3)3×6H2O,Fe(NO3)3×9H2O和Co(NO3)2×6H2O为原料,采用柠檬酸盐法合成LaCo0.2Fe0.8O3纳米晶,用DTA,TGA对原粉形成纳米晶过程进行分析,用XRD,SEM对纳米晶进行表征,并对其湿敏特性进行研究。结果表明,在600℃下焙烧使原粉形成了稳定的钙钛矿纳米晶。此材料在相对湿度大于54%RH时对湿度的变化有较高的灵敏度,掺杂适量无机盐可以改善材料的湿敏特性,使它在全程湿度范围内对湿度都有很好的响应。
2007年Z1期 No.362,No.363 105-107页 [查看摘要][在线阅读][下载 171K] [下载次数：97 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 赵萌;王金兴;邹博;冯彩慧;吴凤清;
采用溶胶-凝胶法合成了对甲醛气体(HCHO)敏感的纳米晶TiO2材料。利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等测试方法对TiO2纳米晶结构和表面态进行了表征。X射线衍射结果表明,随温度的增加,TiO2的晶型会由锐钛矿型逐渐转变为金红石型。制成了敏感元件,对甲醛气敏性能进行了测试。测试结果表明,500℃下焙烧2h所制得的锐钛矿型TiO2对甲醛气体有很好的敏感性能。
2007年Z1期 No.362,No.363 108-110页 [查看摘要][在线阅读][下载 220K] [下载次数：212 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：0 ] - 程进;邹小平;李飞;张红丹;任鹏飞;朱光;王茂发;
介绍了采用浮动催化剂法,利用乙醇化学气相沉积法制备多壁碳纳米管。采用二茂铁作为催化剂先体,乙醇作为碳源,利用石英基底收集产物。催化剂先体二茂铁的蒸汽在载气的作用下被带到高温区(800℃),二茂铁在高温区分解形成铁纳米催化剂颗粒,这些催化剂颗粒催化生长出多壁碳纳米管。利用扫描电子显微镜、(高分辨)透射电子显微镜对制备的多壁碳纳米管都进行了表征。实验结果表明,制备的多壁碳纳米管均匀性好,石墨化程度较高。
2007年Z1期 No.362,No.363 111-112+116页 [查看摘要][在线阅读][下载 258K] [下载次数：345 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：1 ] - 程进;邹小平;李飞;张红丹;任鹏飞;朱光;王茂发;
讨论了基底在火焰中的位置、合成时间及火焰的稳定性等因素对乙醇催化燃烧法制备的产物的影响。采用乙醇作为碳源和燃料,在不同的制备条件下分别制备样品,并采用扫描电子显微镜、喇曼光谱等对样品进行表征。实验结果表明,基底在火焰中最佳位置为1.0~2.5cm,最佳的合成时间为5~30min,较高的火焰稳定性对于制备直径比较均匀、结构比较单一的碳纳米管和碳纳米纤维是有利的,而且能够提高产物石墨化程度,减少其结构缺陷。
2007年Z1期 No.362,No.363 113-116页 [查看摘要][在线阅读][下载 344K] [下载次数：172 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 秦雷;李莉;王丽坤;孙百生;
3-2型压电复合材料在水声换能器应用中主要工作于厚度振动模态。应用切割填充法制备了四种3-2型压电复合材料,并通过改变复合材料中压电陶瓷的体积分数,实验测得了四种3-2型压电复合材料厚度谐振频率随体积分数增加而升高的速率,并分析了不同压电陶瓷与环氧树脂对样品厚度谐振频率变化率的影响。同时分析了复合材料反对称体振动模与厚度振动模的耦合,并提出了避免这种耦合的方法。
2007年Z1期 No.362,No.363 117-119页 [查看摘要][在线阅读][下载 215K] [下载次数：150 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：1 ] - 任鹏飞;邹小平;程进;张红丹;李飞;朱光;王茂发;
用电化学还原法制备出氧化铅纳米棒,用SEM、TEM、EDS和XRD研究其微观形貌和晶体结构。实验过程中发现电流密度是影响氧化铅纳米棒生成质量的主要因素。研究结果表明,用电化学还原法制备氧化铅纳米棒的最佳电流密度是30mA/cm2,所制备的氧化铅纳米棒是单晶结构。
2007年Z1期 No.362,No.363 120-122页 [查看摘要][在线阅读][下载 351K] [下载次数：251 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：0 ] - 朱光;邹小平;程进;张红丹;李飞;任鹏飞;王茂发;
采用乙醇催化燃烧法制备竹节形碳纳米管,利用乙醇作为碳源和燃料提供材料生长所需的能量,以Cu薄片作为基底,FeCl3与Fe(NO3)3作为催化剂先体。通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、喇曼光谱对黑色絮状的沉积产物进行表征。实验结果表明,产物中的碳纳米管具有较好的竹节形结构,竹节形碳纳米管的形貌和微结构与独特的制备条件有关。并对竹节形碳纳米管的生成机理进行了初步探讨。
2007年Z1期 No.362,No.363 123-125页 [查看摘要][在线阅读][下载 306K] [下载次数：222 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 邹小平;
提出了一种制备多壁碳纳米管的简单方法。以乙醇为碳源,利用催化化学气相沉积工艺制备了碳纳米管。用较为简单的设备在较低的反应温度下,在基底上生长了取向多壁碳纳米管阵列。利用扫描电子显微镜内部的纳米操纵仪对单根碳纳米管进行操纵,并测试了单根多壁碳纳米管的电学特性。
2007年Z1期 No.362,No.363 126-128页 [查看摘要][在线阅读][下载 173K] [下载次数：225 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 王茂发;邹小平;程进;张红丹;任鹏飞;李飞;朱光;
研究了碳源与催化剂先体对催化燃烧法制备的碳纳米线的影响。采用Cu薄片作为基底,分别采用甲醇、乙醇、丙酮作为碳源,Fe(NO3)3,Ni(NO3)2,Co(NO3)分别作为催化剂先体。将催化剂先体溶解到乙醇中,形成催化剂先体溶液,然后将其涂敷到铜基底上。干燥后,置于火焰中适当的位置,燃烧一定时间,便可制备出黑色絮状沉积物,即碳纳米线。对所制备的产物采用了扫描电子显微镜进行了表征。实验结果表明,使用丙酮、乙醇作为碳源,铁盐、镍盐作催化剂先体时生成的碳纳米线一致性较好。
2007年Z1期 No.362,No.363 129-131页 [查看摘要][在线阅读][下载 187K] [下载次数：234 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ] - 罗志安;肖建中;
采用陶瓷注射成型技术制备了氧化锆固体电解质基体,在烧成的氧化锆基体上涂制Ag/Pd电极浆料,然后将电极在不同温度下烧结。利用扫描电镜(SEM)对所制备的电极表面微观形貌进行表征。结果表明电极烧结温度对电极微观形貌影响很大;利用电化学阻抗(EIS)研究了Ag/Pd电极的电化学性能,显示出Ag/Pd电极优良的电化学催化性能。
2007年Z1期 No.362,No.363 132-135页 [查看摘要][在线阅读][下载 314K] [下载次数：218 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：0 ]
- 吴祖堂;王占江;蔡宗义;李运良;陈立强;门朝举;文潮;
为了评估炸药在地下结构附近或地下爆炸时产生的地冲击对结构的威胁和影响,进行爆炸环境下的地运动测量,可以为工程安全及其防护设计提供合理有效的数据和依据。采用改进型差动变压式位移传感器(LVDT)对其进行测量。该LVDT具有行程大,精度高,稳定性好,安装方便等优点。需要解决的两个关键技术是:测试原理的合理解释、传感器的抗冲击能力和传感器不同与常规应用的安装技术。介绍了利用LVDT位移传感器测量地运动的原理、方法以及实验技术。实验表明了该技术可行、有效。
2007年Z1期 No.362,No.363 136-139+149页 [查看摘要][在线阅读][下载 257K] [下载次数：148 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 金仁成;王艳辉;高英明;刘瑞瑞;
针对当前输油管道压力监控现状,结合GPRS通信模块MC39i,给出了能够实现远程数据传输并可广泛应用于远程监控系统的设计方案。重点阐述了系统的硬件组成以及基于嵌入式实时操作系统FreeRTOS实现数据传输模块的软件设计;采用基于状态机的结构设计方法实现PPP链路层协议,实现GPRS模块与互连网络的连接;分析和比较了UDP和TCP两种传输层数据传输方式,并给出了基于uIP TCP/IP协议栈实现TCP和UDP传输协议的原理;对UDP协议的传输可靠性进行改进,采用带握手的UDP协议可以较好地满足实时性的可靠性要求,并对数据传输性能进行了测试。
2007年Z1期 No.362,No.363 140-142页 [查看摘要][在线阅读][下载 247K] [下载次数：455 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：18 ] |[阅读次数：0 ] - 吴建平;王世林;周四春;黄欢;
设计采用PHILIPS公司具有ISP功能的单片机P89C669作为控制核心,对反应堆中子活化系统的辐照时间实现自动检测与控制,通过气动传输装置控制样品进入反应堆和离开反应堆。安装在反应堆堆口处的光电传感器检测管道内的样品,精确控制样品的辐照时间并计算样品的冷却时间,通过串行接口实时向计算机传输样品辐照的信息,单片机驱动液晶显示器完成辐照时间、冷却时间的动态数据显示。
2007年Z1期 No.362,No.363 143-145页 [查看摘要][在线阅读][下载 161K] [下载次数：32 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 朱炜;高学山;吴晓兵;涂以鹏;
研究以混合式光电电流互感器为代表的可靠、新型的高精度电流互感器已为大势所趋,其研制技术的关键是电流互感器的供电问题。设计了光电池电压自举电路,以保证光电池始终工作在效率最高点附近,解决了光电池的输出电功率随负载变化而变化的问题。并利用电池智能监控器对光电池输出的电压、电流及互感器的工作电压进行监控,通过电-光转换和光-电转换模块来解决高低压侧之间的数据传输问题,减少了传输过程中外界对数据的干扰。实验研究表明该供能系统能够在负载变化的情况下保证输出电压的稳定。
2007年Z1期 No.362,No.363 146-149页 [查看摘要][在线阅读][下载 226K] [下载次数：216 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：13 ] |[阅读次数：0 ] - 郭宏宾;赵玉龙;蒋庄德;
以轮式陀螺仪为研究对象,利用有限元方法分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响。根据驱动模态和敏感模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸;通过谐响应分析确定了频率和振幅的关系,为结构设计和制备工艺提供了理论指导。
2007年Z1期 No.362,No.363 150-152+164页 [查看摘要][在线阅读][下载 371K] [下载次数：279 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 江城;李宁;倪世宏;
嵌入式大气数据系统(FADS)是先进的大气数据系统。由于SAW压力传感器能进行无线测量,将无线SAW压力传感器应用于FADS,与MIMU相结合使之成为廉价的微型组合导航系统。研究了FADS的基本原理、无线双单端SAW谐振器压力传感器的基本原理以及相关应用电路模块,并利用HP Esoft软件和SAW谐振器等效电路对无线SAW压力传感器进行了仿真。研究表明,无线SAW传感器能应用到先进的大气数据系统,具有重要的应用价值。
2007年Z1期 No.362,No.363 153-155+167页 [查看摘要][在线阅读][下载 315K] [下载次数：158 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：1 ] - 靳映霞;周菁;郑永红;张福学;
根据压电射流角速度传感器实际工作情况,从腔体中流体运动情况出发,分析传感器安装位置对角速度输出电压的影响。理论分析了安装位置变化对敏感元件中气体受力影响。利用CFD在输入角速度为150°/s,安装位置到转轴距离变化时,计算敏感元件中气体速度分布。将数值计算速度值带入King公式中,计算热敏丝检测电桥输出电压值。分析结果显示,电桥输出电压增量随着安装位置到转轴距离增加而增加,并得到电桥输出电压与安装位置到转轴距离之间的计算结果。实验检测表明输出电压变化规律与计算结果基本一致。
2007年Z1期 No.362,No.363 156-158+171页 [查看摘要][在线阅读][下载 195K] [下载次数：68 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 何青;杜冬梅;张志;薛惠芳;
采用基于MEMS技术的ADXL330三轴加速度计芯片,设计了适合水下结构振动测试的加速度传感器,并应用于某输水管线闸门振动监测系统中。分析了ADXL330结构、原理和标定方法。根据水下结构振动测试特点和要求,设计了应用电路、防水结构以及振动测试系统。现场应用表明,采用该芯片设计的三轴加速度传感器能够满足水下结构振动监测的需要,具有低成本、高精度、易安装和安全可靠等特点。
2007年Z1期 No.362,No.363 159-161页 [查看摘要][在线阅读][下载 237K] [下载次数：456 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：10 ] |[阅读次数：1 ] - 滕淑芬;钱政;
混合是固体火箭推进剂制造过程中的一个关键工序,需在线测量桨叶上的压力信号。为此,设计并实现了混合机桨叶状态的在线检测系统,对实现过程中的若干关键技术进行深入研究,系统通过了现场联调。最后对测试系统设计过程中存在的不足进行全面分析,对今后改进的方向,特别是采集速度的提高问题进行了探讨。
2007年Z1期 No.362,No.363 162-164页 [查看摘要][在线阅读][下载 277K] [下载次数：78 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 张翔;钱政;陈从强;任雪蕊;
介绍了巨磁电阻效应的发现、发展和应用情况,在自制实验平台上,分别测试了深圳华夏公司和美国NVE公司传感器的静、动态特性。结果表明,NVE传感器在线性区间、静态灵敏度、线性度、磁滞等方面优于华夏产品。在测试结果的基础上,对NVE公司巨磁电阻传感器的应用前景进行了探讨,给出了该传感器应用于电力系统母线大电流测试时的具体方案,并对方案实现过程中可能遇到的问题进行分析。
2007年Z1期 No.362,No.363 165-167页 [查看摘要][在线阅读][下载 216K] [下载次数：461 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：0 ] - 王代华;袁刚;赵艳;侯向红;
提出并研究了一种基于6只单轴加速度传感器的六维加速度传感器的原理及结构,建立了获取6维加速度的传感模型,并利用建立的传感模型在Matlab/Simulink环境下对提出并研究的6维加速度传感器的传感特性进行了数字仿真分析。研究结果表明,该6维加速度传感器能够实现6维加速度传感。
2007年Z1期 No.362,No.363 168-171页 [查看摘要][在线阅读][下载 320K] [下载次数：399 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：0 ] - 李新;庞世信;徐开先;孙承松;
如何制作与生产适宜高温环境下应用的压力传感器,一直备受关注。在SIMOX技术SOI晶圆的基础上,设计了压力敏感芯片结构,并基于MEMS工艺制作了芯片。电桥采用1mA恒流源供电,在300℃下,满量程输出≥180mV,灵敏度为30~40mV/(mA.MPa),非线性≤1‰FS,重复性≤1‰FS。与常温测试结果相比,300℃高温下,敏感芯片的静态性能没有明显差异。
2007年Z1期 No.362,No.363 172-173+182页 [查看摘要][在线阅读][下载 148K] [下载次数：238 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：1 ] - 蔡晨光;樊尚春;
采用激光测振仪测量振动元件表面的幅值。用于检测谐振式传感器振型的测试系统,主要由计算机、激励信号源、激光测振仪、数据采集卡组成。计算机控制激励信号源产生与被测谐振式传感器一个模态所对应的固有频率相一致的激励信号,激励被测谐振式传感器,使之处于受迫振动状态,计算机通过数据采集卡控制激光测振仪对被测谐振式传感器的振动元件进行空间扫描,测出被测谐振式传感器振动元件表面各点的振动信号,通过数据采集卡将激励信号和激光测振仪测出的振动信号采集到计算机中,计算出振动信号与激励信号的幅度和相位差,解算并绘制出被测谐振式传感器该模态对应的振型。
2007年Z1期 No.362,No.363 174-175+191页 [查看摘要][在线阅读][下载 199K] [下载次数：356 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 关荣锋;
研究了封装工艺对传感器可靠性的影响。分析和实验结果表明,机油压力传感器封装材料及各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性。贴片胶性能不能满足可靠性要求,会引起传感器信号漂移和高温不稳定性;引线键合强度不够,在工作中会断裂;硅油化学稳定和耐温性能不够好,会造成传感器高温输出信号不稳定,硅油中的空气和杂质会造成传感器零点输出偏大,使传感器的精度下降等。
2007年Z1期 No.362,No.363 176-178+202页 [查看摘要][在线阅读][下载 288K] [下载次数：393 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 胡建人;秦会斌;
分析大感光像素特种CCD的工艺特点及对系统整体性能参数的影响。提出满势阱光电子数与CCD阱面积A和阱深W的积有关,CCD分辨间隔取决于光电子统计涨落,大像素提高了CCD感光灵敏度和动态范围,对工艺定位要求低,可单件或少量生产,适合我国现有人员、技术、设备和资本经济实力。用DSP+CPLD、FPGA器件和VI软件制作控制器,强化系统整体配置;寻找各行各业需要、技术对路的特种CCD开展研发,实行定单生产,滚动积累开发,走差异化发展道路,是发展我国IT技术产品的策略。
2007年Z1期 No.362,No.363 179-182页 [查看摘要][在线阅读][下载 132K] [下载次数：145 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：1 ] - 黄漫国;陶元芳;樊尚春;
为了实现对起重机制动器性能试验和质量检测,设计了起重机制动器试验台信号采集系统。系统的温度、扭矩以及转速等反映制动器主要性能的数据都需要通过各种传感器得到,因此作为信号采集系统的重要组成部分传感器具有至关重要的作用。在详细分析系统参数要求以及各个传感器性能的基础上,对温度传感器、扭矩传感器和测速传感器进行了选择,在系统中进行了相关测试并对试验结果进行了分析。试验结果表明,该系统中的传感器选用合理,达到了对制动器主要性能参数的准确检测。
2007年Z1期 No.362,No.363 183-184+187页 [查看摘要][在线阅读][下载 230K] [下载次数：371 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：22 ] |[阅读次数：0 ] - 秦建敏;程鹏;李霞;
水由液体变为固体冰(或由固体冰变为液体)的过程中电容会发生很大的变化,基于这一特点,提出了利用空气、冰与水的电容特性差异实现对冰层及冰下水位进行非接触式检测的新的冰层厚度检测思路。对含有导电杂质的冰、冰水混合物、水与空气等物质随温度变化所表现出的电容特性进行了分析,据此提出了利用空气、冰与水的电容特性差异实现对冰层厚度及冰下水位进行非接触式检测的传感器结构及冰厚检测原理。
2007年Z1期 No.362,No.363 185-187页 [查看摘要][在线阅读][下载 249K] [下载次数：421 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：21 ] |[阅读次数：0 ] - 许东华;林惠旺;张兆华;谭智敏;刘理天;
零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它们对零点温漂的影响。最后,给出了一种整体设计流程来控制零点输出与提高成品率。
2007年Z1期 No.362,No.363 188-191页 [查看摘要][在线阅读][下载 416K] [下载次数：552 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：9 ] |[阅读次数：0 ] - 张兆华;陈磊;李坤;林惠旺;刘理天;乌力吉;任天令;
汽车轮胎压力监测系统(TPMS),主要用于在汽车行驶时实时地对轮胎气压进行自动监测,对轮胎漏气和低气压进行报警,以保障行车安全,是当前汽车电子研究的一个热点。汽车轮胎的压力与温度是密切相关的,需要同时监控压力和温度信息。设计制作了一种压力温度集成传感器,可以同时监控汽车轮胎压力和温度的变化。基于这种集成压力传感器,设计了一种无源胎压监控系统。
2007年Z1期 No.362,No.363 192-195页 [查看摘要][在线阅读][下载 206K] [下载次数：343 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：1 ] - 王承栋;杨集;冯士维;张跃宗;庄四祥;张弓长;
分析了影响探测器响应度的各因素,在此基础上设计了InGaAs/InP PIN探测器的外延材料结构并优化了增透膜厚度和p-InP区欧姆接触电极图形的设计,以达到提高响应度的目的。采用MOCVD技术和闭管扩散等工艺制备了器件并测量了其响应度。结果显示,器件的光谱响应范围为1000~1600nm,在1500nm激光的辐照下,5V反向偏压时器件的响应度可达0.95A/W以上。
2007年Z1期 No.362,No.363 196-197+209页 [查看摘要][在线阅读][下载 189K] [下载次数：710 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：9 ] |[阅读次数：0 ] - 李学金;张杰锋;王欣义;张榕城;
设计了一种新型的差动式光纤微弯传感器,并对传感器的位移特性和应变特性进行了实验研究。该传感器的特点是不仅可以测量位移、应力、应变等参量的大小,还可以判断参量的方向,且灵敏度比单一传感器增加一倍。实验证明,通过在传感器中加入变形齿限位装置和光纤定位槽,大大改善了差动式光纤微弯传感器的敏感性能和实用性。
2007年Z1期 No.362,No.363 198-199页 [查看摘要][在线阅读][下载 123K] [下载次数：221 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 陈科球;黄钊洪;
介绍了一种用InSb-In共晶体薄膜磁阻元件制成的电流传感器(MRCS)。为了检测微弱电流,此种电流传感器利用同时改变两个InSb-In磁阻元件阻值的途径来实现这一目的,设计了一种能较大幅度增大其输出电压的信号处理电路。当处理电路的电压增益为50~10000倍、,待测的50Hz交流电流在50mA~12A时,输出电压在0.3~3.5V变化,并且两者之间有比较好的线性关系,标准偏差小于0.02,完全能满足工业上对电流的监测作用,从而保护因异常情况停止运转的马达。
2007年Z1期 No.362,No.363 200-202页 [查看摘要][在线阅读][下载 219K] [下载次数：175 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：0 ] - 陈雨;文玉梅;李平;田卉;
根据前期对埋入混凝土立方体模块中的压电陶瓷应力及温度特性,提出了一种旨在监测混凝土结构内部静应力及温度的压电埋入式应力温度传感器。该传感器以混凝土为基底材料,以压电陶瓷为敏感单元,通过测量压电材料中等效电路参数来反映混凝土结构中的静态或准静态应力及温度变化。同时,提出了一种新的方法来减小在传感器工作工程中由于应力-温度交叉传感导致的测量误差。该方法利用埋入混凝土中压电陶瓷材料特征频率对温度敏感而对应力不敏感的特性来修正等效电路参数的测量值。实验表明,这种方法可以将测量误差降低到5%以内,提高了测量的可靠性。为提高测量系统的通用性,并降低仪器系统的成本,建立了基于虚拟仪器方法的计算机数据采集、处理和分析传感器后端仪器系统。该系统集传感器标定、初始化、数据采集及结果显示为一体,能够高效地完成大量实际工程应用的需要。通过将该测量系统移植到笔记本电脑,还可以完成野外作业。
2007年Z1期 No.362,No.363 203-206+224页 [查看摘要][在线阅读][下载 533K] [下载次数：485 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：15 ] |[阅读次数：0 ] - 张文涛;戴静云;孙宝臣;
设计制作了一种金属封装的光纤法珀温度传感器,该传感器采用不锈钢毛细金属管代替传统的空心光纤对光纤法珀腔进行封装,毛细金属管在作为法珀腔腔体的同时也是温度敏感元件。采用该结构简化了光纤法珀温度传感器的封装工艺,理论分析和实验的结果表明,该金属封装结构使得传感器的灵敏度易于控制,对于腔长为10mm的温度传感器其精度达到±0.5℃。
2007年Z1期 No.362,No.363 207-209页 [查看摘要][在线阅读][下载 169K] [下载次数：346 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：13 ] |[阅读次数：0 ] - 方华军;刘理天;任天令;
设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风。这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性能的关系,分析了影响微麦克风机电性能的多种因素,给出了优化的器件结构和工艺流程。
2007年Z1期 No.362,No.363 210-212页 [查看摘要][在线阅读][下载 293K] [下载次数：491 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：0 ] - 刘可昌;李霞;李斌;
采用永磁体励磁方式制成的电磁流量传感器,既保持了传统线圈励磁电磁流量计的不易堵塞、无压损等优点,又简化了电磁流量传感器的结构,降低了制造成本,并可充分发挥永磁体励磁方式的功耗低、响应速度快等优点。同时,引入了动态反馈控制的方法来消除电极信号中的极化电压,从而使永磁体励磁的电磁流量计应用于一般导电性流体的测量成为可能。
2007年Z1期 No.362,No.363 213-215+221页 [查看摘要][在线阅读][下载 291K] [下载次数：382 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：13 ] |[阅读次数：1 ] - 刘鹏;李伟;叶双莉;任天令;刘理天;
在硅片上制备结构为Ta/NiFeCr/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/IrMn/Ta的IrMn顶钉扎自旋阀薄膜,并最终制成了一组基于此自旋阀结构的GMR磁传感器芯片。利用弱磁场下的退火工艺,改变薄膜易磁化轴的方向,当退火温度为150℃、外加磁场为120Oe时,GMR芯片的矫顽力可以降至0.2Oe以下。同时建立了一种自旋阀自由层的单畴模型,用以解释这一退火效应。利用Mat-lab计算GMR芯片的Meff-H曲线,所得到的计算结果与实验结果一致。所以,自旋阀自由层易磁化轴的方向与GMR磁传感器的性能有着密切的关系。
2007年Z1期 No.362,No.363 216-218页 [查看摘要][在线阅读][下载 164K] [下载次数：422 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 刘兴明;方华军;刘理天;
介绍了基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器的基本特征及性能指标,对晶体管宽长比对探测器性能的影响进行了理论分析,分析表明,提高晶体管的宽长比可以改善探测器的探测率。为了克服传统微桥结构室温红外探测器成品率低的不足,提出了一种新的热绝缘材料,并将该材料应用到了非制冷红外探测器中,实际制备了探测器单元,对该材料的热绝缘能力进行了验证。
2007年Z1期 No.362,No.363 219-221页 [查看摘要][在线阅读][下载 172K] [下载次数：265 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 孙宝臣;戴静云;张文涛;
光纤法珀传感器具有测量精度高、动态范围大、可单端检测等优点。针对白光干涉型法珀传感器,设计了一种基于体光栅的光纤传感器解调系统。该系统采用高性能体光栅和线阵CCD阵列实现了光谱的采集,并结合高性能数据采集卡和PC机进行信号的处理和输出。测试结果表明该解调系统的温度测量精度在±1℃以上。
2007年Z1期 No.362,No.363 222-224页 [查看摘要][在线阅读][下载 170K] [下载次数：316 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：13 ] |[阅读次数：0 ] - 张艳红;刘理天;张兆华;谭智敏;林惠旺;
在应力作用下,MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化。基于MOS晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的MOS晶体管式压力传感器。该器件在与目前最常用的压阻式压力传感器相比,继承了其制作工艺简单、稳定性和线性度好等优点,大幅提高了传感器灵敏度并降低了功耗,使得器件性能得到整体提高。
2007年Z1期 No.362,No.363 225-227+234页 [查看摘要][在线阅读][下载 327K] [下载次数：253 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：0 ] - 郑洋;曲炳郡;叶双莉;李伟;任天令;刘理天;
对一种Ta/NiFeCr/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta结构的顶钉扎自旋阀进行了优化。对自旋阀各层材料在整个结构中所起的作用进行了分析,并通过实验,研究自旋阀中每一层的厚度对磁电阻变化率(MR)的影响。最终得到了在80℃下磁电阻变化率高达10.5%的GMR自旋阀。
2007年Z1期 No.362,No.363 228-230页 [查看摘要][在线阅读][下载 156K] [下载次数：116 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：1 ] - 崔金强;姜澄宇;苑伟政;常洪龙;蒋庆华;
针对扭摆式加速度计的结构特点,为了有效利用硅片面积和提高质量块质量,设计了一种新型挠性轴内置于质量块的扭摆式加速度计,该结构具有检测电极和力反馈电极。根据结构设计参数,推导出中心敏感电容、等效质量、机械灵敏度的参数表达式。利用扭摆加速度计的数学模型,建立了加速度计表头系统级模型,并结合接口电路进行闭环整体仿真,调整校正环节参数,得到闭环系统性能指标。最后进行初步开环测试,测得加速度计的灵敏度为33mV/g,非线性度2.29%。
2007年Z1期 No.362,No.363 231-234页 [查看摘要][在线阅读][下载 369K] [下载次数：208 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 胡杰;薛晨阳;张文栋;熊继军;张斌珍;
研究了一种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构。该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Ga0.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构。加速度计的压敏元件和悬臂梁的加工分别利用空气桥工艺和控制孔工艺。对加工出来的加速度计结构进行振动台实验,初步测得传感器的灵敏度为7.6mV/g,线性度为0.16%。
2007年Z1期 No.362,No.363 235-237页 [查看摘要][在线阅读][下载 274K] [下载次数：105 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 郑凤杰;白强;张星;汪祖民;夏善红;
空中电场是以三维矢量形式存在的,以往用于空中电场探测的电场传感器主要实现矢量电场的一个或两个分量的探测。介绍了一种新型的空中三维电场传感器,可实现空中矢量电场的三维检测,并对该三维电场传感器的标定方法进行了仿真分析,设计出该传感器的专用标定装置。测试数据表明该传感器的输出与外部电场呈良好的线性关系,与理论分析一致,证明了该电场传感器结构设计和标定方法的合理性。
2007年Z1期 No.362,No.363 238-241页 [查看摘要][在线阅读][下载 297K] [下载次数：492 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：16 ] |[阅读次数：0 ] - 郑永红;黄小丽;靳映霞;张福学;
理论分析了密闭腔中自然对流气体稳态下的温度场和速度场对热敏丝的影响,给出了热敏丝电阻随温度和速度的变化关系。利用ANSYS软件计算了二维密闭腔体中点热源引起的速度场和温度场,并用流场计算结果定量分析了倾角变化时热敏丝电阻的变化。结果表明,热源所产生的温度场对热敏丝电阻的影响比速度场大近3个数量级,即对热敏丝电阻的变化起决定作用的是温度场而不是速度场。实验表明,电桥输出电压变化规律与数值计算结果基本一致。
2007年Z1期 No.362,No.363 242-244页 [查看摘要][在线阅读][下载 263K] [下载次数：102 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 杜利东;赵湛;庞程;
风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位。基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点。设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式测风传感器,用流体力学原理对这两种风速风向传感器进行了理论分析及ANSYS CFD软件模拟仿真,得出了风速与挠度、剪切力的关系。用惠斯通电桥测量传感器输出信号,通过单个传感器的二次封装测量风向信号。制作出了硅悬梁式测风传感器,并进行了初步测试。
2007年Z1期 No.362,No.363 245-248页 [查看摘要][在线阅读][下载 324K] [下载次数：362 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 庞程;赵湛;杜利东;
基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺:利用KOH各向异性腐蚀进行硅片大面积、大深度腐蚀减薄,分析了其浓度配比对硅面平整度特性的影响,采用阳极键合形成真空腔,试验反应离子深刻蚀形成硅膜的效果。芯片测试结果表明方案可行。
2007年Z1期 No.362,No.363 249-251+278页 [查看摘要][在线阅读][下载 345K] [下载次数：434 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：12 ] |[阅读次数：0 ] - 何高法;唐一科;何晓平;刘世明;
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论。
2007年Z1期 No.362,No.363 252-254+297页 [查看摘要][在线阅读][下载 262K] [下载次数：304 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：9 ] |[阅读次数：0 ] - 李洋;许高斌;
介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V。该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同时,使用溅射工艺制作Au接触电极,可以使接触电阻降到100mΩ以下,增加了微继电器的使用寿命。由于该微继电器的驱动电压和制造工艺都和普通集成电路的驱动电压和制造工艺相兼容,因此两者在产业化生产中可以很容易地被集成在同一芯片上。
2007年Z1期 No.362,No.363 255-256+287页 [查看摘要][在线阅读][下载 370K] [下载次数：148 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 田文杰;宁永怀;崔媛媛;鄂然;张福学;
根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器。采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特性进行了比较。实验结果表明,同一晶体基片上不同位置的谐振器的力敏特性与加力方位密切相关;选择适当的加力方位,可使多电极结构的谐振器的力-频转换系数优于单电极谐振器的力-频转换系数。
2007年Z1期 No.362,No.363 257-259页 [查看摘要][在线阅读][下载 204K] [下载次数：78 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：1 ] - 严庆文;魏益群;李业隆;沈美娥;朱嘉林;
以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器。通过实验,该传感器的分辨率为12Hz/r.s-1。
2007年Z1期 No.362,No.363 260-262页 [查看摘要][在线阅读][下载 234K] [下载次数：141 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：0 ] - 郑敏;文玉梅;李平;肖庭富;
提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量。推导了复合磁传感器在磁场中的频率响应及磁场-频率偏移量关系,并对传感器的静态特性进行了测试。分析表明该传感器为低通系统,截止频率约为14.34Hz。实验验证了复合传感器的最高静态灵敏度可达到190Hz/Oe。
2007年Z1期 No.362,No.363 263-265页 [查看摘要][在线阅读][下载 158K] [下载次数：122 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 杨远洪;郭锦锦;段纬倩;
基于应力型保偏光纤传输常数差对温度的敏感性并利用偏光干涉技术,提出了一种反射型保偏光纤温度传感器并推导出传感方程。在传感器中采用宽谱光源抑制了输入/输出光纤中偏振耦合引起的误差,特性分析表明这种传感器实用、精度高并且配置灵活。实验结果与理论完全吻合,其噪声等效可探测温度精度达0.01℃。根据大型电力变压器的绕组温度监测要求,研制出一套远程多路温度传感器系统。采用特殊的涂覆和密封石英毛细管封装技术,保证光纤传感头能在热油及250℃的高温下工作,而且具有很高的绝缘性。检测结果表明传感器在0~200℃内,达到了±0.5℃测量精度。
2007年Z1期 No.362,No.363 266-269页 [查看摘要][在线阅读][下载 394K] [下载次数：310 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 王宏伟;腾功清;齐臣杰;江世宇;
分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理,建立了该陀螺的数学模型,设计了其敏感结构,计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数等动力学参数,计算分析了陀螺的电容敏感特性。对制作的陀螺进行性能测试的结果表明,该陀螺利用旋转载体自身的旋转角速度作为驱动,从而说明敏感载体的俯仰(或横滚)角速度原理正确,并且理论和试验都说明,当载体自旋角速度不同时,陀螺输出信号的比例系数也不同。
2007年Z1期 No.362,No.363 270-274+303页 [查看摘要][在线阅读][下载 559K] [下载次数：126 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 王宏伟;江世宇;腾功清;齐臣杰;
利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件,研制出电容敏感式加速度计。设计了一种提取差动电容信号的检测电路。给出了电路中所使用的电子元器件,经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系。经过实验测试,加速度计的灵敏度大约为391.12mV/(m.s-2)。
2007年Z1期 No.362,No.363 275-278页 [查看摘要][在线阅读][下载 283K] [下载次数：107 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：1 ] - 李成章;黄庆安;
给出了一种新型梳状微机械谐振式磁场传感器的设计。采用静电激励和静电检测,通过罗伦兹力的反馈将磁场的大小转变为频率输出。对结构模型进行简化,推导出了本征频率的计算公式并进行了ANSYS模拟。通过尺寸的设计,该传感器的灵敏度可以达到258kHz/T。
2007年Z1期 No.362,No.363 279-281页 [查看摘要][在线阅读][下载 189K] [下载次数：173 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：9 ] |[阅读次数：0 ] - 陈德勇;陈健;毋正伟;王军波;陈李;
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作。模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等。
2007年Z1期 No.362,No.363 282-284页 [查看摘要][在线阅读][下载 169K] [下载次数：322 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ] - 沈广平;吴剑;张骅;秦明;黄庆安;
给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周。传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工艺简单可靠。该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差原理测量风速和风向。经过风洞测试,传感器可以完成360°风向检测,误差不超过10°。
2007年Z1期 No.362,No.363 285-287页 [查看摘要][在线阅读][下载 248K] [下载次数：470 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：17 ] |[阅读次数：0 ] - 吴虹;李延夫;
为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。
2007年Z1期 No.362,No.363 288-290页 [查看摘要][在线阅读][下载 122K] [下载次数：321 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：17 ] |[阅读次数：1 ] - 杨勇;金琦;李长春;郭丽娟;
为满足行业配套组件的发展需求,研制了一种新型复合压力传感器。该传感器采用分体结构设计,将压力信号转换成深度信号,利用精密的信号处理电路,将微弱的深度信号进行放大、比较等处理,可同时输出连续量电信号和阶跃量信号。该传感器具有精度、过载倍数和可靠性高,温度系数小,耐腐蚀等特点,整体性能均高于单一功能类的产品。
2007年Z1期 No.362,No.363 291-293页 [查看摘要][在线阅读][下载 219K] [下载次数：101 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 张志昊;刘宏伟;王勃;
根据压力传感器的实际测试过程中的各个环节已经或可能产生的影响,获取压力传感器真实性能输出数据的因素,采用可靠性的分析方法对其进行分析;提示了测试过程中影响传感器输出的规律,减小传感器因在测试过程中产生的误差;并为深入研究压力传感器提供一条新的思路,为研究新的压力传感器提供一定的理论依据。
2007年Z1期 No.362,No.363 294-297页 [查看摘要][在线阅读][下载 178K] [下载次数：383 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 梁峭;孙海玮;郭丽娟;
为了满足我国相关行业配套组件的迫切需要,研制了一种新型压力开关传感器。该传感器采用一体化结构设计,将小型压力传感器与机械式压力开关安装在同一压力腔内,共用同一个压力接口和信号接插件,能够同时提供阶跃量信号和连续量电信号。该压力开关传感器整机结构紧凑、精度、过载倍数和可靠性高,触点动作误差和温度系数小,整体性能均高于单一功能类的产品。
2007年Z1期 No.362,No.363 298-300页 [查看摘要][在线阅读][下载 203K] [下载次数：321 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：0 ] - 金琦;李长春;杨勇;刘宏伟;孙克;
小型共面接口压差传感器是一种压力传感器,该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差。该产品采用SOI硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片,敏感元件的工作温度范围为-55~300℃,通过双芯体结构将油路的压力差信号转换成电信号,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出。
2007年Z1期 No.362,No.363 301-303页 [查看摘要][在线阅读][下载 183K] [下载次数：88 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ]
- 王永进;兰中文;余忠;郑飞雁;
GMR生物传感器包括三个部分,即免疫磁性微球、高灵敏度GMR传感器以及相关读出电路。与其他生物传感器相比,它具有灵敏度高、分辨力强、价格低、市场普及潜力大、设备小型化及测量过程自动化等优点。综述了GMR生物传感器的研究现状,对相关技术的工作原理进行了分析,提出了GMR生物传感器的应用前景和有待解决的问题。
2007年Z1期 No.362,No.363 304-307页 [查看摘要][在线阅读][下载 377K] [下载次数：538 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：13 ] |[阅读次数：0 ] - 徐洁;庞炳海;王连驰;
通过对几种国产半导体天然气传感器与世界名牌FIGARO公司产TGS813的对比评价看出,尽管外观和响应特性上有很多相似之处,但在初期特性、温湿度特性、长期稳定性上还存在很大差距。从内部结构解析的观察结果可以看出,在一些生产工序中存在着很大的潜在隐患,但是这些差距对一般用户来说很难了解。本文对其判断方法进行了详细叙述。
2007年Z1期 No.362,No.363 308-311页 [查看摘要][在线阅读][下载 375K] [下载次数：209 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 刘凤敏;陈丽华;全宝富;
利用化学沉淀法制备了In2O3粉体,采用X射线衍射(XRD)的方法得到了粉体的晶体结构,颗粒尺寸为纳米量级。以In2O3为基体材料,制作了烧结型旁热式气敏元件,通过固相掺杂的办法改善元件的气敏特性。在低于100℃的工作温度下,通过对SO2,CO,CH4,Cl2,NO2五种气体的检测,发现分别以质量分数为2%PdCl2和5%CeO2为掺杂剂的元件对NO2气体均表现出较好的敏感性,对SO2,CO,CH4,Cl2四种干扰气体的灵敏度较低,表明元件具有良好的选择性。
2007年Z1期 No.362,No.363 312-314页 [查看摘要][在线阅读][下载 201K] [下载次数：260 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：0 ] - 全宝富;何月华;王彪;梁喜双;钟铁钢;
采用溶胶-凝胶法制备NASICON粉体材料,并利用XRD和IR对制得的材料进行表征。以NASICON粉体材料为基体,Li2CO3-BaCO3复合盐为敏感电极制作管式CO2气体传感器,并对其灵敏度、选择性和耐水性进行测量。在敏感电极中掺入质量分数为10%的SiO2,不仅明显改善器件的耐水性,而且使器件的初始稳定时间从30min减小到5min。
2007年Z1期 No.362,No.363 315-317+320页 [查看摘要][在线阅读][下载 290K] [下载次数：297 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：8 ] |[阅读次数：0 ] - 祁欣;张巍;徐振忠;刘新宇;
概括了目前CO气体传感器的国内外发展状况,提出了传统电化学气体传感器存在的问题,介绍了一种利用Nafion膜为固态电解质的CO气体传感器,阐述了它的工作原理。对电极材料?薄膜材料?固态电解液?电路等关键技术进行了讨论,重点介绍了电极的活化、液态电解质的固化及传感器的抗干扰、抗恶劣环境影响等技术研究,给出了传感器的结构和电路原理图,讨论了传感器的性能特点和发展方向。
2007年Z1期 No.362,No.363 318-320页 [查看摘要][在线阅读][下载 168K] [下载次数：375 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：1 ] - 郑飞雁;王豪才;王永进;
EW_GⅠ是基于GMR(巨磁阻)传感器,用于检测血样中特种病毒的正在研发的生物芯片系统。叙述了其巨磁阻传感器阵列以及后端锁相放大IC电路的设计及实现。该阵列包含32个GMR传感器单元和2个传感器参考单元,形成多路的半桥式惠斯通电桥,用于感应绑定磁球的附加磁场。每个单元(100μm×100μm)由长1mm、宽7μm的巨磁电阻蜿蜒而成,该电阻采用[Ag(2nm)/NiFe(6nm)/Cu(2.2nm)/CoFe(4nm)]20结构,采用Ag作为镜面层,其饱和磁场小于等于30mT,GMR值约6%,单个传感器电阻约为780Ω。配套的锁相放大芯片包括了信号通道、参考通道、前置低噪声放大器、带通滤波器、可控增益放大器、相敏检测电路、正交移相电路、差分直流放大电路八个部分,整个设计功耗小于50mW@Vcc=3V。
2007年Z1期 No.362,No.363 321-324页 [查看摘要][在线阅读][下载 250K] [下载次数：383 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 王军波;吴旻宪;崔铮;崔占峰;
以生物微反应器中培养液pH在线监测为目标,研制出一种基于光度吸收原理的阵列光纤传感器。利用MEMS加工工艺,制备出传感器的阵列吸光池芯片,采用光学软件对吸光池进行优化设计,提高了传感器光传输效率,并通过CFD软件进行流体模拟,优化吸光池结构,降低了溶液死体积,缩短传感器响应时间。实验结果表明,所研究的传感器阵列检测灵敏度为0.83V/pH,响应速度快,可用于多个生物微反应器的pH在线监测。
2007年Z1期 No.362,No.363 325-328页 [查看摘要][在线阅读][下载 339K] [下载次数：307 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 吕尊实;周嘉;陈华;黄宜平;鲍敏杭;
设计制作了片上集成三电极体系微电极阵列。工作电极分为圆形和方形两种,电极特征尺寸为100~900μm,工作电极与对电极间距为50~200μm。利用循环伏安法,在氧化还原电位探针二茂铁甲醇的作用下,对各三电极微系统进行了电极性能表征,具体分析了工作电极的形状、大小、与对电极的间距对输出特性的影响,为片上集成三电极体系的微电极阵列的设计优化提供了实际依据。
2007年Z1期 No.362,No.363 329-331页 [查看摘要][在线阅读][下载 275K] [下载次数：345 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：0 ] - 王兢;包化成;姚朋军;吴娜;
用纳米SnO2制作了旁热式气敏元件。用掺杂方法提高SnO2甲醛气敏元件的灵敏度,掺杂剂包括Pd,Sb,Ti,Zr,Cu,Ag,Mn等。在SnO2气敏元件中分别掺杂质量分数2%Pd和2%Zr对提高元件灵敏度有显著效果。未掺杂SnO2、掺杂质量分数2%Pd和2%Zr的气敏元件对体积分数为5×10-5甲醛的灵敏度分别为1.33,2.38,2.08,但是掺杂在改善元件对乙醇的选择性方面作用不大。分析了掺杂改善SnO2气敏元件灵敏度的原理,当SnO2表面吸附还原性气体时,吸附气体提供电子,使半导体表层的导电电子数增加,引起电导率增加、电阻下降。吸附气体浓度越高,电阻率变化越大,元件灵敏度越大。
2007年Z1期 No.362,No.363 332-334+338页 [查看摘要][在线阅读][下载 205K] [下载次数：317 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：21 ] |[阅读次数：0 ] - 孙楫舟;边超;任振兴;夏善红;
作为提高免疫微传感器一致性及稳定性方法的关键研究内容之一,在MEMS工艺制备的电极型免疫微传感芯片的基础上,设计和制备微反应室以及微进出样沟道,以期利用微流体系统配合完成敏感膜固定化及免疫检测过程,探索提高生物敏感膜固化的稳定性和一致性,提高免疫微传感器检测一致性的技术和方法。设计了不同结构的微流体结构,并通过软件对不同结构对免疫检测过程所带来的影响进行了分析和比较。该研究对于面向应用的微型免疫生物传感器的研制有着重要的研究意义和实用价值。
2007年Z1期 No.362,No.363 335-338页 [查看摘要][在线阅读][下载 297K] [下载次数：237 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 马福昌;吕迎春;
BLM(双层类脂膜)的金属支撑构成了一种电化学传感器。这种传感器的化学反应和电现象之间的转化,是通过金属对BLM的支撑来实现的,不同于经典的电化学换能器。用缬氨霉素修饰的BLM作为敏感膜,制成金属-BLM和经典电化学K+离子电极。通过两种电极对K+离子检测的对比实验,以及不同直径和新鲜面不同给出方法的金属-BLM电极的对比实验,探讨了BLM的金属支撑对BLM的K+离子敏感特性的影响。从实验数据看,BLM的金属支撑在性能上优于经典电化学传感器,但支撑介质的新鲜面对BLM的K+离子敏感特性有影响。
2007年Z1期 No.362,No.363 339-341+350页 [查看摘要][在线阅读][下载 152K] [下载次数：55 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：0 ] - 樊尚春;郭欣悦;
介绍了脉搏血样饱和度检测的理论基础与重要的临床应用价值。提出了一种基于CMOS影像传感器的脉搏血氧饱和度监测系统,用CMOS传感器阵列取代了传统血氧仪中的光敏探测,实现了血氧饱和度及脉搏波的无接触测量。阐述了其在组织发育、伤口诊断、病变的提前预测等场合的潜在应用价值。实验结果表明,由于摄像头不能够有效屏蔽外界光源噪声的干扰,所设计样机较传统的血氧仪测得的饱和度值偏低,误差偏大,从而进一步提出减小误差提高精度的方案构想。
2007年Z1期 No.362,No.363 342-344页 [查看摘要][在线阅读][下载 134K] [下载次数：251 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：9 ] |[阅读次数：0 ] - 何保山;周爱玉;李华清;岳伟伟;罗金平;蔡新霞;
研制了一种新型现场检测谷丙转氨酶(ALT)的光学生物传感器。该生物传感器基于目标检测物ALT与底物的专一性反应,促使敏感膜发生颜色变化,该变化在可见光范围内660nm处发生特异性的吸收,利用自行开发的ALT光学传感器系统,基于光的吸收/反射原理从而达到检测目的。利用该生物传感器进行血清学研究,在20~150U/L时具有较好的线性关系,线性相关系数0.987,检测时间60s,可以满足现场检测需要。
2007年Z1期 No.362,No.363 345-347页 [查看摘要][在线阅读][下载 149K] [下载次数：258 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：0 ] - 吝涛;陈星;林然;王平;
介绍了一种基于MSP430微处理器的便携式甲烷报警检测仪的设计与实现。仪器以催化燃烧式传感器为检测元件,可以准确地对甲烷浓度进行现场实时测量,并将测量结果及当前时间保存。当空气甲烷含量超过预设报警值时,采用声光报警。仪器具有与PC机通信的功能,通过串口可将保存的历史数据输出给PC机,通过管理软件实现历史数据的回顾与整理。仪器测量电路具有通用性,配合不同气敏元件适当调节参数就可实现对多种气体的测量。
2007年Z1期 No.362,No.363 348-350页 [查看摘要][在线阅读][下载 149K] [下载次数：642 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：16 ] |[阅读次数：1 ] - 潘跃峰;吝涛;付静;王平;
论述了新型用于水污染动态实时监测的电子舌分析仪器。该仪器采用离子选择性传感器检测技术、电化学溶出伏安检测技术和光寻址电位传感器检测技术,结合计算机快速检测技术,可以同时快速检测工业和生活污水中多种重金属离子的浓度。在硬件设计上以最小系统为核心,具有配置灵活、可扩展性好等特点。在软件设计上,分模块化实现,包括数据通信、数据预处理、数据存储和控制等模块,方便移植。实验结果表明,本仪器具有良好的定量检测能力。
2007年Z1期 No.362,No.363 351-352+362页 [查看摘要][在线阅读][下载 282K] [下载次数：320 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 孙建;余永;葛运建;陈峰;
在分析可穿戴型下肢助力机器人所需要的控制信息的基础上,设计了一套基于CAN总线的人体下肢运动信息感知系统。该系统主要包括可获取人体腿部和脚底状态的力传感器和获取髋关节和踝关节角度信息的编码器。实验结果表明,所设计的多传感器系统稳定,实时性好,满足可穿戴型下肢助力机器人系统控制的需要。
2007年Z1期 No.362,No.363 353-357页 [查看摘要][在线阅读][下载 485K] [下载次数：1158 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：119 ] |[阅读次数：3 ] - 王丽江;吴春生;王平;
构建了一种可以快速检测大肠杆菌O157:H7的石英微天平(QCM)压电免疫传感器,并用原子力显微镜(AFM)和电化学方法分别对传感的各个步骤进行了表征,整个检测系统均由实验室自己构建。利用QCM的金电极自组装膜特性、抗原抗体的特异性结合和结合后的频差改变(Δf)来检测溶液中O157:H7含量,最后对传感器的再生性进行了初步探索。结果显示,该检测系统可以在1.5h内检测2.0×102~2.0×108CFU/mL的目标菌,并可重复再生使用。
2007年Z1期 No.362,No.363 358-359+382页 [查看摘要][在线阅读][下载 311K] [下载次数：167 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：0 ] - 徐凤娟;王悦;陈星;王平;
提出了一种无创电子鼻诊断肺癌的新方法。该方法结合虚拟声表面波(SAW)传感器阵列的概念和图像识别方法,对肺癌病人、正常人和老慢支病人的呼出气体进行了检测,确定11种挥发性有机成分(VOCs)为肺癌特征气体。此外,在细胞水平上进行研究,证明了肺癌细胞培养液中存在的特征性VOCs是肺癌细胞新陈代谢的产物,可以作为判定特定肺癌细胞的依据,为确定肺癌病人呼吸中的特征性气体提供病理根据。
2007年Z1期 No.362,No.363 360-362页 [查看摘要][在线阅读][下载 219K] [下载次数：312 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：26 ] |[阅读次数：0 ] - 屈岚;汪祖民;韩泾鸿;任振兴;夏善红;
通过对ISFET敏感机理的理论分析,根据表面基模型,建立了悬浮栅结构ISFET器件的HSPICE动态行为模型,对ISFET器件的动态特性进行仿真得到时间响应曲线,并探讨了薄膜等效电阻、薄膜等效电容、互连线寄生电容和寄生电阻等因素与动态特性中延迟时间和迟滞等不理想因素的关系,为ISFET/REFET差分结构集成传感器芯片设计提供理论指导。
2007年Z1期 No.362,No.363 363-366页 [查看摘要][在线阅读][下载 220K] [下载次数：163 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 余辉;蔡华;徐莹;刘清君;王平;
基于对多种离子敏感膜的研究,结合微透镜阵列,设计了一种基于光寻址电位传感器(LAPS)的新型多参数微生理计,实现同时并行检测H+,Na+,K+,Ca2+等多种不同离子。已经测得H+,K+,Ca2+-敏LAPS的灵敏度分别达到50mV/pH,43mV/pK以及25mV/pCa,线性度良好。
2007年Z1期 No.362,No.363 367-369页 [查看摘要][在线阅读][下载 196K] [下载次数：76 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：0 ] - 边超;孙辑舟;夏善红;
采用MEMS工艺在硅衬底上制备了电极型免疫微传感芯片,重点探索了微传感器敏感表面抗体固定化的方法。尝试采用蛋白A与吡咯共同电化学聚合,进而由蛋白A结合抗体的方法,实现了抗体的固定。将该免疫传感器对人免疫球蛋白G(HIgG)进行检测,在5~160ng/mL以及160~640ng/mL呈分段线性的特性,实现了微剂量、低浓度的免疫检测,验证了该固定化方法的可行性。此法具有省时、简便、易控、适合微传感器固定的优点。
2007年Z1期 No.362,No.363 370-372+386页 [查看摘要][在线阅读][下载 193K] [下载次数：121 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 张超奇;周非;曲炳郡;任天令;刘理天;
制备出了结构为Ta/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta,磁阻变化达9.2%的GMR自旋阀传感器,并用该种传感器对浓度为200μg/mL、直径2μm的生物免疫磁球溶液进行了检测。实验结果表明,该生物传感器可以对被测生物免疫磁球溶液产生平均350μV的电压输出信号,随着磁球溶液的继续增加,电压输出信号可以达到最大值450μV。除去背景干扰信号的影响,由磁球产生的有效电压输出信号为300μV。此外,交流励磁场的频率的增加也会使输出电压信号减小。
2007年Z1期 No.362,No.363 373-375页 [查看摘要][在线阅读][下载 225K] [下载次数：265 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：0 ] - 褚金奎;赵开春;王体昌;张强;
针对研制仿生导航微传感器的需要,设计并且搭建了偏振导航传感器实验模型。分析了仿生导航传感器工作的原理,构建了传感器模型实验平台和光学标定装置。利用光学标定装置对导航传感器进行了暗场标定、均匀非偏振光标定。进行了导航定位角度输出实验,获得了导航传感器三个偏振方向分析器标准化输出曲线。测试结果表明这种新型传感器的设计是合理有效的。
2007年Z1期 No.362,No.363 376-378+406页 [查看摘要][在线阅读][下载 406K] [下载次数：675 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：64 ] |[阅读次数：0 ] - 刘军涛;郭宗慧;刘春秀;岳伟伟;周爱玉;蔡新霞;
介绍了一种用于免疫层析试条量化检测的光学检测系统。该系统基于光反射原理,包括光电检测单元、信号采集与处理单元、微处理器及数据存储、显示输出、计算机通讯和按键输入等部分。它采用光纤作为光传输媒介,同时获取检测线和质控线的光学信号,分析其吸收率,获得样品溶液中待测物的浓度。系统具有体积小、成本低、适于多种免疫层析试条定量检测等优点,在临床检测上有着广阔的应用前景。
2007年Z1期 No.362,No.363 379-382页 [查看摘要][在线阅读][下载 319K] [下载次数：209 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：9 ] |[阅读次数：0 ] - 罗金平;田青;周爱玉;岳伟伟;何保山;蔡新霞;
针对食品卫生现场检测需求,基于三磷酸腺苷(ATP)生物发光原理设计了一种新型的微生物快速检测用生物传感器,并以ATP标准品为检测对象,结合荧光分光光度计对传感器的响应波长、检测时间及响应范围等基本特性进行了初步研究。研究结果表明,该传感器对标准ATP响应迅速,其光学响应波长为550nm;在1~100nmol/L ATP浓度范围内,传感器响应光强信号与ATP浓度之间呈现出良好的正响应关系。此外,通过如加入一定CoA等方式来优化检测试剂配方,可以进一步来改进传感器的检测灵敏度。该传感器在结构上采用集成化设计,具有无需微生物培养、操作简单及响应快速的优点,在食品工业领域快速检测物体表面微生物污染方面具有广泛应用前景。
2007年Z1期 No.362,No.363 383-386页 [查看摘要][在线阅读][下载 249K] [下载次数：391 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：0 ] - 岳伟伟;周爱玉;何保山;罗金平;蔡新霞;
针对细菌总数现场检测需求,设计了一种基于ATP(三磷酸腺苷)生物发光技术的细菌总数现场快速检测仪。传统方法检测细菌总数需要2~3天,而利用ATP生物发光技术可在30min之内完成检测,大大提高了检测速度。本检测仪选取H5773-02型光电倍增管作为光电转换器件以检测微弱光信号,该光电倍增管的工作波长范围为330~850nm,峰值检测波长为500nm,ATP生物发光波长为550nm,两者基本一致,使检测仪具有较高的测量灵敏度。采用流动注射技术,在加入被测样品后分别向样品池中加入检测试剂。由于样品池被密闭在检测腔中,因此可有效减小外界光对测量结果的影响,同时也减小了人为加样对检测重复性的影响,提高检测重复性。利用本检测仪对浓度在10-6~10-14mol/L内的ATP样品进行了检测。实验表明,测量结果具有明显梯度,测试时间小于400s时,与标准样品浓度间的线性相关系数达到0.986。设计的细菌总数快速检测仪具有检测速度快、重复性高、操作简单等优点,可适用于食品卫生与安全、环境检测等领域。
2007年Z1期 No.362,No.363 387-390页 [查看摘要][在线阅读][下载 285K] [下载次数：439 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：15 ] |[阅读次数：0 ] - 陈烨;李红浪;何世堂;
分析了延迟线型表面横波(STW)生物传感器的灵敏度与栅阵材料、厚度的关系。给出了计算栅阵对表面横波束缚能力的方法,由STW的束缚能力可以直接得到传感器的灵敏度。从Auld微扰理论出发推导出表面横波传感器灵敏度的表达式。根据上述理论分析,以AT切割压电石英基片为例,分别计算金、银、铝三种栅阵材料在不同厚度时的传感器灵敏度,并给出对比分析结果。结果表明,在相同栅阵厚度时,采用金栅阵的传感器灵敏度最高,银次之,铝最小;传感器的灵敏度随着栅阵厚度的增加而增加。
2007年Z1期 No.362,No.363 391-392+403页 [查看摘要][在线阅读][下载 170K] [下载次数：69 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 李熙;何秀丽;张阳;李建平;
基于单个商品化SnO2传感器,研究如何提高CO传感器抗H2干扰能力。利用多种周期性加热电压对传感器进行温度调制,通过实验对比,优选加热电压参数,在所选电压的调制加热下,获得传感器对CO/H2混合气体的动态响应曲线,利用支持向量机(SVM)估算混合气体中CO的浓度,平均估计误差为10.45%。
2007年Z1期 No.362,No.363 393-396页 [查看摘要][在线阅读][下载 404K] [下载次数：168 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：0 ] - 陈东初;赖阅腾;李文芳;
采用WO3作为H+响应敏感材料,制备了WO3pH电化学传感器,对传感器的H+响应行为,如响应范围、响应灵敏度、响应时间等影响因素进行了分析。制备WO3工作电极的热处理温度对传感器的H+响应灵敏度与速度有影响,H+响应速度与溶液pH和温度有关,溶液中Na+,K+,F-对H+响应行为没有影响,但是受到I-,NO3-的干扰。
2007年Z1期 No.362,No.363 397-399页 [查看摘要][在线阅读][下载 245K] [下载次数：213 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 石志松;朱惠忠;梁吴迪;
研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器,研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性。采用单边封闭的封装方式,研究了器件在单边触液条件下的工作特性。阵列器件采用扫描工作方式,分时激励阵列中的各单元器件依次进入谐振工作状态,使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态,避免了单元器件间的振动耦合。实验制作的单片扫描式QCM阵列传感器试验结果显示,阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度达到±0.2×10-6/h,液相平均频率稳定度达到±0.4×10-6/h。
2007年Z1期 No.362,No.363 400-403页 [查看摘要][在线阅读][下载 329K] [下载次数：149 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：0 ] - 阿不都卡德尔·阿不都克尤木;麦麦提依明·马合木提;买买提·阿不都拉;买里克扎提·买合木提;阿布力孜·伊米提;
利用旋转甩涂法在钾离子交换玻璃光波导表面上固定甲基绿/聚乙烯醇薄膜,成功地检测氯仿蒸汽。实验结果表明,该元件对氯仿蒸汽有良好的响应,其线性响应范围为10×10-3~90×10-3(R=0.98674)。该元件具有响应恢复速度快、可逆性好、成本低和易制备等特点。
2007年Z1期 No.362,No.363 404-406页 [查看摘要][在线阅读][下载 180K] [下载次数：74 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：8 ] |[阅读次数：0 ] - 李玉台;崔大付;刘长春;
描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m,色谱通道截面为矩形(宽100μm,深100μm),针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验,理论塔板数达到了4800,分离时间为185s。
2007年Z1期 No.362,No.363 407-409+416页 [查看摘要][在线阅读][下载 260K] [下载次数：241 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：1 ] - 王于杰;崔大付;王军波;蔡浩原;郑自攀;李亚亭;关昕;
参比型SPR生物芯片是一种具有参比、检测两个位点的葡聚糖修饰的SPR生物芯片。为了验证该芯片的效果,进行了在芯片上固定人IgG,检测溶液中的羊抗人IgG的免疫结合试验。参比位点的SPR信号随溶液的变化而变化,但不会固定人IgG,检测位点可以牢固地固定人IgG。羊抗人IgG可以与固定在芯片上的人IgG发生免疫结合反应。这种方法可用来进行固定抗原检测抗体的研究。
2007年Z1期 No.362,No.363 410-411页 [查看摘要][在线阅读][下载 127K] [下载次数：167 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：3 ] |[阅读次数：0 ] - 张淑平;单联刚;经媛元;施利毅;
利用固定化的乙酰胆碱酯酶(AChE)制作了一种可用于农药残留检测的快捷灵敏的传感器,并探讨了AChE的固定化技术。酶固定化实验确定:固定化载体为孔径0.45μm硝酸纤维素膜、保护剂牛血清白蛋白(BSA)浓度为1.0%、交联剂戊二醛浓度为5.0%时,固定化酶传感器具有较高的灵敏度和稳定性。用氨基甲酸酯类农药甲奈威为抑制剂,与GC法(GB14877-94)进行对比,当喷洒量为10.0mg.L-1时,GC法测定的结果为9.03mg.L-1,生物传感器法测定的结果为6.56mg.L-1,可以满足对甲萘威农药残留的快速检测要求。
2007年Z1期 No.362,No.363 412-416页 [查看摘要][在线阅读][下载 297K] [下载次数：181 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 袁峰;徐洪;邱国华;彭春文;马超;
提出了一种SF6气体密度微机测量系统,具有自动快速地进行气体密度数据采集、温度补偿、精确计算气体密度等处理功能。计算机中具备动态数据库,具有数据存储和历史数据检索等功能。软件还提供打印报表、动画显示、操作显示、成组显示、趋势图显示等功能,从而实现了电厂在生产过程中对SF6气体密度进行实时监测以及历史数据分析,以达到最佳的管理效果。
2007年Z1期 No.362,No.363 417-419页 [查看摘要][在线阅读][下载 165K] [下载次数：109 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ] - 李振波;徐丹辉;张春晓;申安安;孙克;
研制了一种在线式SF6气体微水含量检测传感器。该传感器采用露点测量法能够准确测试气体的微量水分,并且可安装在罐体上,实时在线检测。这样,就可以通过计算机等显示装置,随时检测SF6气体的微量水分值,对高压开关运行起到很好的保障作用。
2007年Z1期 No.362,No.363 420-422页 [查看摘要][在线阅读][下载 121K] [下载次数：190 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ]
- 陈德运;黄家定;唐文明;韩优;于晓洋;
电容层析成像系统极板间的电容值相对于耦合电容相差近两个数量级,如何补偿耦合电容成为微小电容测量的难点之一。以12电极油水两相流电容层析成像系统为研究对象,在分析了电容层析成像系统原理的基础上,设计了电容层析成像数据采集系统,系统采用前项补偿方法完成了微小电容的测量,并根据实际测量过程所涉及的关键性问题进行了分析和讨论,通过实验验证了此方法是实用可行的,较好地解决了微小电容精确测量问题。
2007年Z1期 No.362,No.363 423-426页 [查看摘要][在线阅读][下载 448K] [下载次数：97 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 王领;张金科;张福学;
介绍了利用旋转载体自身旋转作为驱动力的硅微机械陀螺的相位提取技术。当陀螺的敏感轴平行于载体偏转平面时,硅摆所受的哥氏力最大,输出为正弦信号的峰值;当它的敏感轴和偏转平面垂直时,输出为正弦信号的零值。因此,以载体的自转信号为基准,通过比较输出信号波峰在输入基准坐标中相位的变化可知敏感轴的方向,进而能够确定旋转平面及载体在空间中的偏转方向。
2007年Z1期 No.362,No.363 427-429+437页 [查看摘要][在线阅读][下载 306K] [下载次数：103 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 杜冬梅;何青;张志;
对无线传感器网络节点的能量供应及其管理技术的现状进行了讨论。分析研究了无线传感器网络节点的能量收集原理、技术与方法,认为无线传感器网络节点能量管理应从节能与供能两方面去解决。对环境中存在的各种能源的收集原理与方法进行了分析,这些能源包括太阳能、风能、声能、振动、热电以及电磁场能等。最后提出了传感器节点应该采用尽可能多的方法从环境中吸取能量,以确保传感器节点能够长期、稳定、可靠地工作。
2007年Z1期 No.362,No.363 430-433页 [查看摘要][在线阅读][下载 207K] [下载次数：1559 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：81 ] |[阅读次数：1 ] - 王志刚;白宇;邓高寿;
结合装甲车辆实车环境,研究分析了在恶劣环境和紧凑设计条件下,获取复杂运动构件关键参数工作信息的方法及其关键技术。对微型化设计技术,电源管理与低功耗设计技术,触发控制技术及FRAM存储方案进行了重点阐述。
2007年Z1期 No.362,No.363 434-437页 [查看摘要][在线阅读][下载 307K] [下载次数：84 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：0 ] |[阅读次数：0 ] - 孙红;赵颖;
由于血液管理对于环境条件的特殊要求,针对血液管理分析提出了将传感技术与RFID技术结合后应用于其中的想法。简要介绍了RFID传感器标签的设计,分析了将其运用于血液管理分析后对加强流程监控、提高工作效率的好处,并主要从血液的出入库管理、跟踪管理、质控管理三个方面详细描述,阐明了方法的可行性。
2007年Z1期 No.362,No.363 438-441页 [查看摘要][在线阅读][下载 150K] [下载次数：142 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 陈斌;万江文;冯仁剑;薛浩;
相比于现有交通系统所采用的视频监控等技术,无线传感器网络具有自组织、低成本、低能耗和易部署等优势,将无线传感器网络技术应用于智能交通是近年来研究的热点。提出了基于无线传感器网络技术的高速公路监控系统智能化设计方案,探讨分析了系统构成及工作过程,研究了系统设计中的关键问题并给出了相应的初步解决方法。基于传感器网络的智能监控系统可实现对高速公路全面、实时和不间断监控。
2007年Z1期 No.362,No.363 442-445+456页 [查看摘要][在线阅读][下载 355K] [下载次数：314 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：10 ] |[阅读次数：0 ] - 戴波;杨卓然;赵晶;田小平;
在深入分析超声检测发射电路的基础上,设计了基于RLC串联谐振的发射电路,电路以场效应管为开关元件,电感储能形成高频、高压脉冲,建立了发射电路理论模型,分析了电路参数对高压窄脉冲的影响,理论计算产生的宽频高压脉冲激励信号与实验测量结果一致。该电路不需要提供直流高电压,只需要5V单电源供电,就可稳定获得宽度小于1μs,幅度大于400V,且无余振的高压窄脉冲。电路具有结构简单、体积小、不需要直流高压、功耗低、易于集成等特点,满足管道超声内检测的要求。
2007年Z1期 No.362,No.363 446-449页 [查看摘要][在线阅读][下载 238K] [下载次数：457 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：18 ] |[阅读次数：0 ] - 高英明;金仁成;王宏斌;王立鼎;
为了研究无线传感器网络能量管理和组网技术,采用ARM基高性能、低功耗微控制器LPC2138为核心制作了一种新型无线传感器网络节点,该节点由两节AA电池供电。说明了该节点的硬件构成及设计方法,介绍了该无线传感器网络节点使用的电池模型,并给出了一组该节点有效工作状态下的功率。
2007年Z1期 No.362,No.363 450-452页 [查看摘要][在线阅读][下载 207K] [下载次数：208 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：9 ] |[阅读次数：0 ] - 金仁成;刘利兵;褚金奎;赵开春;
针对研制仿生微纳导航传感器的需要,设计了一种基于虚拟仪器的仿生偏振光测试系统。介绍了仿沙蚁偏振光测试模型及装置,给出测试系统的总体框架,对系统的硬件设计和基于Lab-VIEW的软件开发进行了探讨。最后采用测试系统进行了仿生偏振测角实验,实验结果达到了预期的目标。
2007年Z1期 No.362,No.363 453-456页 [查看摘要][在线阅读][下载 337K] [下载次数：207 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：1 ] - 金仁成;陈涛;张五金;唐祯安;
针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统。参考MATLAB的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题。结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好,可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置,能够解决传感器所需气压测试环境10~1000Pa的实时气压控制问题。
2007年Z1期 No.362,No.363 457-460页 [查看摘要][在线阅读][下载 359K] [下载次数：214 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：6 ] |[阅读次数：0 ] - 金岩;
在无线传感器网络中由于节点的规模大小有限,能源问题成为目前设计的重点。根据网络中节点的不同任务特征提出了一个对传感器节点进行备份的分布式算法,使得在网络中尽可能减少工作节点的参与从而降低能耗。实验结果证明了算法的可行性和正确性,同时还给出了在特定环境下为达到网络最大持续工作时间所需节点数量的范围区间。
2007年Z1期 No.362,No.363 461-464页 [查看摘要][在线阅读][下载 181K] [下载次数：52 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ] - 吴小俊;张媛媛;王士同;於东军;郑宇杰;杨静宇;
对基于模糊神经网络的人脸图像分类器进行研究。将多输入单输出模糊推理系统改造成多输入多输出的模糊神经分类器,并提出了一种改进的模糊神经分类器,改进模型的计算量明显减少。在将模糊规则库与训练样本集对应的基础上提出了一种模糊隶属函数参数的初始化方法。该初始化方法的优点在于它充分利用了训练样本所包含的鉴别信息。在ORL人脸的原始图像空间中用上述方法设计分类器,获得了较好的实验结果。
2007年Z1期 No.362,No.363 465-469页 [查看摘要][在线阅读][下载 192K] [下载次数：352 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：10 ] |[阅读次数：2 ] - 徐太兵;金仁成;褚金奎;王立鼎;
无线传感器网络由大量具有传感、计算和通讯能力的节点组成。针对不同的应用目的、工作环境和要求,提出了进行传感器网络建模需要考虑的几个要素。通过对网络基本要素的描述,能够很方便地对传感器网络进行建模。利用这些要素的特征对网络性能进行深入细致地分析以便选择或设计合适的路由协议和数据融合的方法。研究的重点是网络路由协议及其数据融合技术,也适用于其他协议的设计和建模。
2007年Z1期 No.362,No.363 470-473页 [查看摘要][在线阅读][下载 102K] [下载次数：278 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：9 ] |[阅读次数：0 ] - 杨朝红;霍景河;肖庆;王维峰;王小振;
给出了CAN总线无线接入控制模块的电路设计,模块各主要组成部分的作用是:CAN控制器SJA1000,运行CAN协议,为无线传感器网络节点提供CAN总线服务;收发器TJA1050,作为CAN控制器与物理媒体的物理接口,为CAN控制器提供比特流服务;无线传感器节点采用基于TinyOS的GAINS节点,负责数据的缓存和无线传输。给出了基于TinyOS底层通信接口的无线传感器节点的通信协议设计包括流量控制和缓存设计等。目前,该系统已经实现,使用效果良好,对于一般的信息采集无线传输系统设计具有较好的借鉴意义。
2007年Z1期 No.362,No.363 474-476页 [查看摘要][在线阅读][下载 171K] [下载次数：149 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：4 ] |[阅读次数：0 ] - 孟令军;夏善红;
介绍了一种利用音频信号实现节点间距自主测量的无线传感器网络节点。节点硬件系统包括dsPIC6014A微控制器,512KB的SRAM,2.4G波段的RF收发模块、音频收发模块及电源管理模块等。节点通过测量RF同步信号与音频信号的时间差来测量节点间的间隔距离。与国内外的研究相比,节点可以自主完成测距信号的采集、存储和数据分析、计算工作。节点通过采用多次测量数据累加平均及IIR数字滤波技术提高了测距信号的信噪比,利用幅度分析实现了测距信号的到达时刻判别。测试数据表明,该节点最远测距距离可达30m,误差小于3%。
2007年Z1期 No.362,No.363 477-479页 [查看摘要][在线阅读][下载 221K] [下载次数：232 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 郭江;冯斌;
随着无线网络技术的日益成熟及其对小型、微型移动设备的支持,无线移动传感器网络已经逐渐成为一个研究的热点。主要讨论了为无线移动传感器网络设计的一个自适应的体系结构。在该体系结构中,使用了一个区域和核心路由节点相结合的多层结构的方法来增加无线移动网络的信息传输能力、可扩充性和可靠性,并降低网络的能耗,这样就可以适应无线移动网络的高度动态性和移动性。
2007年Z1期 No.362,No.363 480-482页 [查看摘要][在线阅读][下载 106K] [下载次数：150 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：0 ] - 曹昕燕;
详细介绍了Photobit公司的PB-1024CMOS APS图像传感器的驱动时序关系,提出了基于CPLD来实现CMOS APS图像传感器驱动控制电路的方法。系统选用美国Xilinx公司的XC9500系列CPLD作为硬件设计的开发平台,运用VHDL语言来实现对驱动电路的硬件描述,并采用Xilinx公司的Foundation软件对设计的驱动时序进行了仿真。测试与仿真结果表明所设计的驱动时序电路完全能够达到CMOS APS图像传感器的要求。
2007年Z1期 No.362,No.363 483-485页 [查看摘要][在线阅读][下载 225K] [下载次数：85 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 葛文涛;邓正隆;高玉凯;
通过对激光陀螺机抖构件谐振频率和抖动幅值温度特性的分析,初步提出了利用稳幅、稳频控制等措施来改善系统性能的思想。基于两种温度模型的比较研究,给出了温度模型的选择准则,并对系统测试设备及温度试验等发表了相应的看法,指出了课题未来的发展方向。
2007年Z1期 No.362,No.363 486-489页 [查看摘要][在线阅读][下载 265K] [下载次数：167 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：2 ] |[阅读次数：0 ] - 王镓;刘海燕;杨朝红;
在典型分簇协议LEACH的基础上,设计了一种新的路由协议LACHS。与LEACH不同,协议LACHS根据网络中节点的剩余能量动态选择集中式或分布式分簇算法。将协议LACHS与LEACH相比较,模拟实验结果表明:LACHS优于LEACH,能有效延长网络的生命周期;还考虑了拓扑结构的变化,从而保证了网络的稳定性。
2007年Z1期 No.362,No.363 490-493页 [查看摘要][在线阅读][下载 357K] [下载次数：217 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：7 ] |[阅读次数：0 ] - 王勇;崔大付;许立宁;张璐璐;
稳定的数字控制驱动电源是压电陶瓷型微喷头正常工作的关键。提出了一种波形发生方案,并根据此方案设计了一种以单片机AT89S8252以及波形发生芯片MAX038为主体的新型压电陶瓷微喷头驱动控制电源。该电源具有较高的精度、高分辨率和很宽的动态范围,响应速度快,驱动能力强。整个电源系统最大的特点是脉冲的宽度及占空比完全数字控制,调试灵活方便。
2007年Z1期 No.362,No.363 494-498页 [查看摘要][在线阅读][下载 419K] [下载次数：296 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：2 ] - 张金科;田杨萌;王领;张福学;
从无驱动硅微机械陀螺的敏感结构原理出发,对它的输出信号特征进行了分析,建立了相应的数学模型,提出使用最小均方差(LMSD)的算法对输出信号进行解调。使用MATLAB的数据处理方法,对仿真转台上得到的波形数据进行数字解调,将得到的结果与实际输入相比较,结果表明采用LMSD算法能够解调出陀螺的俯仰和偏航角速度信号。
2007年Z1期 No.362,No.363 499-501页 [查看摘要][在线阅读][下载 296K] [下载次数：134 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：1 ] |[阅读次数：0 ] - 黄晓东;张筱朵;王斌;秦明;黄庆安;
介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响。使用Pspice对接口电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数。最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80~110kPa量程内,接口电路的分辨率为3.77Hz/hPa。
2007年Z1期 No.362,No.363 502-504页 [查看摘要][在线阅读][下载 344K] [下载次数：615 ] |[网刊下载次数：0 ] |[引用频次：5 ] |[阅读次数：1 ]