1974, 12, 23-25
注入离子浓度的均匀性
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DOI:
10.13250/j.cnki.wndz.1974.12.004
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摘要：
本文讨论了在靶上获得所需要的均匀离子密度的离子束扫描条件。引用已经确认的多种分布模型:借助余弦曲线或标准分布曲线,发现可以减少扫描条数。同时给出了离子密度非均匀性的测量方法,并介绍了一些实验结果。
Abstract：
参考文献
[1] 蕨迫,吉田,德山《应用物理》Vol.42,P.124,1973．
基本信息:
DOI：10.13250/j.cnki.wndz.1974.12.004
中图分类号:
引用信息:
[1]田村昌三,何玉山.注入离子浓度的均匀性[J].半导体情报,1974(12):23-25.DOI:10.13250/j.cnki.wndz.1974.12.004.
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