2014, 11, v.51;No.450 752-753
2014年第四届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会圆满闭幕
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<正>10月29-31日,"2014年第四届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会"在上海举办。会议由复旦大学信息科学与工程学院纳米光刻与应用研究中心(FUNARC)承办,同时得到了捷伊欧半导体贸易(上海)有限公司(JEOL Shanghai Semiconductors Co.,Ltd.)、光映科技股份有限公司(Stella Technology Co.,Ltd.)、GenISys GmbH、卡尔蔡
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中图分类号:TN305.7-2
引用信息:
[1].2014年第四届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会圆满闭幕[J].微纳电子技术,2014,51(11):752-753.
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