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MEMS传感器现状及应用

王淑华;

MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。

2011 年 08 期 v.48;No.411 ;
[下载次数: 16,424 ] [被引频次: 417 ] [阅读次数: 40 ] HTML PDF 引用本文

单粒子效应对卫星空间运行可靠性影响

王长河

主要论述单粒子效应对卫星中微电子器件的辐射损伤机理。提出提高集成电路抗单粒子翻转和单粒子闭锁的技术路径。

1998 年 01 期 ;
[下载次数: 1,637 ] [被引频次: 363 ] [阅读次数: 29 ] HTML PDF 引用本文

经典分子动力学模拟的主要技术

樊康旗,贾建援

综述了分子动力学模拟的基本原理、发展过程及主要应用,介绍了原子间势函数的发展及势参数的确定,给出了分子动力学模拟中相关的有限差分算法、初始条件及边界条件的选取、平衡态系综及其调控、感兴趣量的提取及主要过程。最后还指出了分子动力学模拟方法本身进一步的研究方向。

2005 年 03 期 ;
[下载次数: 6,639 ] [被引频次: 263 ] [阅读次数: 33 ] HTML PDF 引用本文

MEMS概况及发展趋势

张威,张大成,王阳元

主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。

2002 年 01 期 ;
[下载次数: 3,580 ] [被引频次: 231 ] [阅读次数: 35 ] HTML PDF 引用本文

纳米颗粒团聚的控制

冯拉俊,刘毅辉,雷阿利

分析了纳米颗粒团聚的影响因素及形成机理 ,指出颗粒之间的范德华力、氢键作用、静电作用等各种作用力是形成团聚的根本原因。分别讨论了在气体介质和液体介质两种环境中纳米颗粒团聚的控制方法 ,前者包括机械分散、干燥处理和静电分散等 ;后者包括有机物洗涤、加入分散剂、共沸蒸馏、特殊干燥工艺和超声空化等 ,并对几种特殊的团聚控制方法进行了重点探讨

2003 年 Z1 期 ;
[下载次数: 3,785 ] [被引频次: 223 ] [阅读次数: 31 ] HTML PDF 引用本文

电子封装技术和封装材料

田民波,梁彤翔,何卫

本文介绍了电子封装的各种类型,综述了电子封装技术与封装材料的现状及发展趋势,重点讨论了高热导AIN基片金属化及AIN-W多层共烧工艺。

1995 年 04 期 ;
[下载次数: 2,604 ] [被引频次: 171 ] [阅读次数: 15 ] HTML PDF 引用本文

MEMS微陀螺仪研究进展

成宇翔;张卫平;陈文元;崔峰;刘武;吴校生;

回顾了MEMS微陀螺仪的研究进展,简单介绍了MEMS微陀螺仪的市场应用。微陀螺仪是MEMS器件中非常重要的一类器件。它的运用已经从单纯的航空领域逐渐转向汽车、消费电子行业等低端市场,这意味着微陀螺仪除了传统意义上的高精度高稳定性的要求,也可以向低精度商品化发展。传统的振动式陀螺,由于原理的局限性和加工技术的限制,很难达到战术级和惯性级的要求。导航级集成微陀螺(NGIMG)项目建议使用其他途径,以减少器件的可移动部件和降低工艺难度,从而提高其精度和抗干扰能力。各种设计方法近年来层出不穷,其中悬浮转子式微陀螺是目前精度最高的陀螺仪,微集成光学式陀螺也将在未来一段时间拥有巨大的研究潜力和发展空间。

2011 年 05 期 v.48;No.408 ; 上海交通大学SMC优秀青年学者计划(T241460622);; 上海人才发展基金(047)
[下载次数: 5,260 ] [被引频次: 137 ] [阅读次数: 28 ] HTML PDF 引用本文

纳米TiO2的光催化机理及其影响因素分析

王积森;冯忠彬;孙金全;贾明剑;宋振雷;

介绍了纳米TiO2光催化技术的研究进展,分析了纳米TiO2的光催化机理,详细论述了影响TiO2光催化活性的主要因素。研究发现,晶粒尺寸越小光催化活性越高;贵金属沉积可提高催化剂表面光生载流子的分离效率,能抑制电子与空穴的复合;半导体耦合有利于电荷分离,扩展对光谱吸收范围;掺杂金属可引起TiO2晶格发生位置缺陷,从而抑制电子与空穴的复合,改善光催化性能;掺杂非金属在抑制晶型转变、改变样品的光吸收率以及抑制光生载流子复合等方面具有显著影响,能提高纳米TiO2的光催化效率。

2008 年 01 期 No.368 ;
[下载次数: 4,034 ] [被引频次: 135 ] [阅读次数: 25 ] HTML PDF 引用本文

超级电容器材料及应用研究进展

石文明;刘意华;吕湘连;张瑞荣;何洋;

作为新型储能装置之一,相较于传统储能装置,超级电容器具有功率密度高、使用寿命长、充放电速率快等优越特性,因而受到了研究者们的广泛关注。介绍了超级电容器的发展历程、分类及工作原理;概述了应用于超级电容器的碳基材料、过渡金属氧化物、导电聚合物及复合材料等电极材料的研究进展;阐述了超级电容器在工业、电力、汽车、航空等领域以及柔性超级电容器在可穿戴电子产品中的应用状况;分析了当前超级电容器的不足及面临的挑战;总结了超级电容器新的可能应用领域(如生物、医疗和神经形态学计算等领域)及新的研究方向(如超级电容器精确数学模型等)。

2022 年 11 期 v.59 ; 国家自然科学基金资助项目(51875478,51905445); 陕西省自然科学基金资助项目(2018JQ5020); 重点实验室基金资助项目(6142201200403)
[下载次数: 12,540 ] [被引频次: 128 ] [阅读次数: 47 ] HTML PDF 引用本文

微型光谱仪的发展

鞠挥,吴一辉

随着MEMS、微光学等微制造技术的发展,光谱仪器的微型化成为可能,光谱仪的微型化是光谱仪器的一个重要发展方向。本文根据国内外正在进行的微型光谱仪的研制工作,对微型光谱仪的发展进行了比较全面的综述,最后对研究微型光谱仪的意义进行了总结。

2003 年 01 期 ;
[下载次数: 1,537 ] [被引频次: 123 ] [阅读次数: 27 ] HTML PDF 引用本文
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