北京大学微电子所,北京大学微电子所,北京大学微电子所 北京100871 ,北京100871 ,北京100871
主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。
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基本信息:
DOI：
中图分类号:TH706
引用信息:
[1]张威,张大成,王阳元.MEMS概况及发展趋势[J].微纳电子技术,2002(01):22-27.
基金信息: