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阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形。设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的 12位A/D数据采集系统。系统采用微机为主控单元 ,地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件 (CPLD)实现 ,提高了设计的灵活性 ,简化了电路板设计。利用该采集系统对压力传感器阵列进行了数据采集 ,最后给出了实验结果
Abstract：The working principle and working wave shape of the vacuum micro electronic pressure sensor is described. A 12 bit A/D data acquisition system is designed for such pressure sensor. In the system, PC is adopted as the main control unit and CPLD is employed to realize the address generation and time sequential control. This promotes the design feasibility and simplifies the circuit board design. This system is used to obtain the data from the micro electronic pressure sensor. The experiment result is given.
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[4] 宋万杰,罗丰,等.CPLD技术及其应用[M ].西安电子科技大学出版社,1999
基本信息:
DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2003.z1.130
中图分类号:TP274.2
引用信息:
[1]潘银松,温志渝,梁玉前,蒋子平.真空微电子压力传感器阵列数据采集研究[J].微纳电子技术,2003(Z1):435-437.DOI:10.13250/j.cnki.wndz.2003.z1.130.
基金信息:
国家高技术研究发展计划 (863计划 )(2 0 0 2AA43 10 80 )资助项目;; 国家教育部(0 2 16)资助项目
2003-08-25
2003-08-25