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1973, 09, 52-56
Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体的液相外延和化学汽相外延的比较
基金项目(Foundation):
邮箱(Email):
DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.1973.09.007
摘要:

比较了在高温下由化学汽相反应和液体溶液反应生长的Ⅲ—Ⅴ族化合物,从材料的观点上描述了光发射和微波振荡器件的要求。也讨论了满足这些器件要求的每种生长方法的性能。针对这一背景,提出了判断新的研究概念的准则,并对进一步的工作提出一些明确的方向。

关键词:
Abstract:

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基本信息:

DOI:10.13250/j.cnki.wndz.1973.09.007

引用信息:

[1]常振华.Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体的液相外延和化学汽相外延的比较[J].半导体情报,1973(09):52-56.DOI:10.13250/j.cnki.wndz.1973.09.007.

发布时间:

1973-09-28

出版时间:

1973-09-28

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